固體薄膜的光學表征(精)者_奧拉夫·澤爾捷克米洛斯拉夫國防工業
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本書的主要內括:部分為引論與建模括:引論,光學和非光學相互結合的方法表征多孔氧化鋯樣品,寬光譜區薄膜表征的通用色散模型,從頭計算預測光學特性);第二部分為分光光度法和橢圓偏振光譜法括:薄膜的反射光譜成像法光學表征,成像分光光度法的數據法,單層膜與多層膜的在線和離線分光光度法);第三部分為缺陷和波紋的薄膜表征括:缺陷薄膜的光學表征,光學薄膜的掃描探針顯微技術表征,共振波導光柵結構,深紫外線柵偏振片的偏振控制)。全書既討論了表征技術的優點也沒有規避表征技術的缺點。本書對於固體薄膜技術領域內的應用基礎研究和工程技術研究具有重要的參考價值,適合從事薄膜技術研究和應用領域的工程技術人員、研究生和高年級本科生閱讀和使用,參與固體薄膜表征任務的科學家或工程師都能從本書中獲益。
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