集成電路制造工藝/高職教材 ![](/liaode/images/fjie0.gif)
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本書按照教育部新的職業教育教學改革精神,根據電子行業崗位技能需求,結合示範專業建設與課程改革成果進行編寫。全書從集成電路的制造工藝流程出發,繫統介紹集成電路制造工藝的原理、工藝技術和操作方法等。全書共分4個模塊11章,靠前個模塊為基礎模塊,介紹集成電路工藝發展的狀況及典型電路的工藝流程;第2個模塊為核心模塊,重點介紹薄膜制備、光刻、刻蝕、摻雜及平坦化5個單項工藝的原理、技術、設備、操作及參數測試;第3個模塊為拓展模塊,根據產業鏈狀況介紹材料制備、封裝測試、潔淨技術;第4個模塊為提升模塊,通過CMOS反相器的制造流程對單項工藝進行集成應用。 全書根據產業鏈結構和企業崗位設置構建課程內容,注重與新工藝、新技術的結合,與生產實踐的結合,以及與職業技能標準的結合。 本書配有免費的電子教學等
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