電子材料制造技術實驗教程/賈利軍 ![](/liaode/images/fjie0.gif)
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全書分上、下兩篇,上篇為電子薄膜制備與測試分析,介紹真空技術、鍍膜工藝、薄膜生長及其表征技術等基礎知識,具體闡述了直流磁控濺射鍍膜、真空熱阻蒸發制膜、電子束蒸發制膜、射頻磁控濺射制膜、薄膜的表征及分析等六個基礎實驗的內容,並設計了基於薄膜材料的熱電偶制作與標定、類電容器結構薄膜器件制作和薄膜光電探測器制作等三個綜合實驗項目;下篇為電子陶瓷制備與測試分析,介紹粉料制備、成型、燒結與電子陶瓷材料結構表征等基礎知識,詳細闡述電子基板、介質移相器、熱敏電阻、功率電感、微波器件等用電子陶瓷材料制備與測試六個綜合實驗項目的設計原理、實驗方法與步驟、測試分析等內容。 本書可作為高等院校電子科學與技術、材料科學與工程等專業的實驗教材或參考書,也可供相關專業研究人員參考。
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