●章 緒論
1.1 MEMS的概念
1.2 MEMS的歷史
1.3 MEMS的特點
1.4 MEMS與IC的區別
1.5 MEMS的現狀及應用領域
參考文獻
第2章 MEMS制造與集成技術
2.1 緒論
2.2 MEMS制造技術發展
2.2.1 硅微加工技術概述
2.2.2 非硅微加工技術概述
2.2.3 其他加工制造技術
2.2.4 材料制備技術
2.2.5 MEMS器件封裝技術
2.3 MEMS制造技術應用實例
2.3.1 MEMS制造技術應用實例
2.4 集成技術發展
2.4.1 集成技術發展
2.4.2 微納器件的三維集成
2.4.3 微納器件的繫統集成
2.5 MEMS集成技術應用實例
2.5.1 軍事應用
2.5.2 航天應用
2.5.3 生物應用
2.5.4 產業進展
2.6 MEMS制造與集成技術展望
2.7 本章小結
參考文獻
第3章 MEMS測試技術
3.1 緒論
3.2 測試技術發展歷程
3.2.1 測試技術歷史回顧
3.2.2 測試技術的國內外發展現狀
3.3 測試技術發展關鍵技術
3.4 測試技術應用實例
3.4.1 MEMS繼電器測試
3.4.2 MEMS掃描微鏡測試
3.5 本章小結
參考文獻
第4章 慣性MEMS技術
4.1 緒論
4.2 MEMS加速度計
4.2.1 單軸電容檢測式MEMS加速度計
4.2.2 三軸電容檢測式MEMS加速度計
4.2.3 其他檢測方式的MEMS加速度計
4.3 MEMS陀螺
4.3.1 振動式MEMS陀螺
4.3.2 轉子式微陀螺
4.3.3 微光機電陀螺
4.4 微慣性
4.4.1 微組裝慣性
4.4.2 單片集成慣性
4.5 慣性器件發展趨勢
4.6 本章小結
參考文獻
第5章 RF MEMS技術
5.1 緒論
5.2 技術發展
5.2.1 RF MEMS開關的研究
5.2.2RF MEMS移相器的研究
……
第6章 微能源MEMS技術
第7章 Bio-MEMS技術
第8章 可穿戴/植入MEMS技術
第9章 空間MEMS技術
0章 極端環境MEMS技術
1章 MEMS的新原理和新效應
2章 MEMS產業化
參考文獻
內容簡介
《MEMS技術前沿與應用發展》是一部深入論述微機電繫統(MEMS)技術發展前沿與應用的專著,共分為12章。前3章從MEMS的基礎概念、基本方法破題,圍繞MEMS的制造、集成、測試技術加以展開,從硅/非硅微加工到封裝、集成與測試技術,並從軍事航天的應用領域對MEMS制造與集成技術進行了分析及討論;第4章至0章詳細介紹了慣性MEMS技術、射頻MEMS技術、微能源MEMS技術、生物MEMS技術、可穿戴/植入MEMS技術、空間MEMS技術以及特別環境應用的MEMS技術;1章和2章分別討論了MEMS技術的新原理新效應,以及MEMS技術的產業化發展現狀。《MEMS技術前沿與應用發展》內容新穎,文獻豐富,數據充實,適合與微米納米技術相關的MEMS、納米技術、微電子、光電子、傳感與測控等領域科技人員與管理者,以及高等院校相關學科的科研人員、研究生、高年級本科生等閱讀。