MEMS與微繫統
作 者: (美)徐泰然(Tai-Ran Hsu) 著;梁仁榮 等 譯
定 價: 79
出?版?社: 電子工業出版社
出版日期: 2017年03月01日
頁 數: 367
裝 幀: 平裝
ISBN: 9787121304996
內容簡介
徐泰然、梁仁榮、劉立濱編著的《MEMS與微繫統--設計制造及納尺度工程第2版》從工程設計的角度講解微機電繫統,並同時從電子與機械兩個層面介紹相關的技術。作者對本書靠前版進行了細致的修訂,並額外增加了全新的一章來介紹納尺度工程。本書首先對納米技術的發展歷史做了一個簡要的回顧,然後對各種納米結構在工程設計方面的基本原理做了詳細的介紹,包括形成納米結構的制造技術、基於分子動力學的工程設計原理以及納尺度材料中的流體流動與熱傳導特性等。本書可作為高校微電子、集成電路設計與集成繫統等專業本科生和研究生相應課程的教科書或參考書,對於機械工程或電氣工程專業的高年級本科生具有很好重要的參考價值,同時可供與集成電路制造技術有關的專業技術人員學習參考。
(美)徐泰然(Tai-Ran Hsu) 著;梁仁榮 等 譯
許軍,男,研究員,清華大學微電子學研究所所長。1963年6月生於安徽合肥,1986年畢業於清華大學無線電電子學繫半導體器件與物理專業,獲工學學士學位,後分別於1989年和1994年在航天工業部771研究所計算機器件與設備專業獲工學碩士學位和工學博士學位,1994年至1996年在清華大學微電子學研究所電子學與通信博士後科研流動站從事超大規模集成電路工藝技術的基礎研究工作,1997年在清華大學微電子學研究所晉升為副研究員,1997至1999年在美國新奧爾良大學優選材料研究所固體器件研究組做訪問學者,1999年回國後繼續在清華大學微電子學研究所集成電路開發與工業性試驗線工作,2002年晉升為研究員。......
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