●章 納米器件裝配制造技術
1.1 概述
1.2 納電子器件裝配制造研究現狀
1.3 機器人化納米操作繫統研究現狀
1.4 納米器件裝配制造主要問題
1.5 納米器件的規模化裝配制造關鍵技術
1.6 機器人化納米操作繫統的結構、主要問題與關鍵技術
第2章 納米材料預處理方法研究
2.1 單壁碳納米管結構和性質
2.2 單壁碳納米管束的分散方法研究
2.3 單壁碳納米管密度離心純化方法研究
2.4 單壁碳納米管預處理實驗研究
第3章 基於介電泳原理的SWCNT裝配方法研究
3.1 介電泳電場的工作原理
第4章 碳納米管器件的裝配制造研究
4.1 引言
4.2 單壁碳納米管納米器件的裝配制造實驗研究
4.3 單壁碳納米管納米器件的批量化裝配實驗研究
第5章 碳納米管氣體傳感器制作及特性測試研究
5.1 引言
5.2 基於納米材料的氣體傳感器實驗平臺搭建
5.3 納電子器件測試技術
5.4 基於單壁碳納米管氣體傳感器的氣敏特性檢測
第6章 納米傳感器的介電泳組裝實驗研究
6.1 引言
6.2 金納米粒子的介電泳組裝實驗研究
6.3 金納米粒子對氣體流量的檢測
6.4 碳納米管的介電泳組裝實驗研究
6.5 碳納米管對次氯酸鈉的檢測實驗
第7章 機器人化納米操作繫統驅動與定位研究
7.1 壓電陶瓷驅動器電壓-位移非線性分析與驅動方法
7.2 三維納米力反饋與控制實驗
第8章 基於混合納米材料電子鼻制造研究
8.1 基於實時反饋的納電子器件規模化實驗平臺搭建
8.2 基於實時反饋的納電子器件規模化實驗
參考文獻
內容簡介
高治軍、許可著的《極造》以典型納米器件——單壁碳納米管場效應晶體管(SWCNT Field Effect Transistor,SWCNTFET)裝配制造為範例,面向納米器件規模化制造,針對SWCNT FET規模化制造市場需求,繫統研究了基於浮動電勢和介電泳原理的納米器件裝配方法,設計實現了基於浮動電勢介電泳的納米器件批量化裝配技術,實驗結果驗證了研究方法的有效性和可行性,為納米電子器件制造技術發展提供了有意義的理論指導和實驗方法。