●第2版譯者序
版譯者序
教師備忘錄
前言
章 緒論
1.0 預覽
1.1 MEMS發展史
1.1.1 從誕生到1990年
1.1.2 從1990年到2001年
1.1.3 從2002年到現在
1.1.4 未來發展趨勢
1.2 MEMS的本質特征
1.2.1 小型化
1.2.2 微電子集成
1.2.3 高精度的並行制造
1.3 器件：傳感器和執行器
1.3.1 能量域和換能器
1.3.2 傳感器考慮
1.3.3 傳感器噪聲及設計復雜性
1.3.4 執行器考慮
1.4 總結
習題
參考文獻
第2章 微制造導論
第3章 電學與機械學基本概念
第4章 靜電敏感與執行原理
第5章 熱敏感與執行原理
第6章 壓阻傳感器
第7章 壓電敏感與執行原理
第8章 磁執行原理
第9章 敏感與執行原理總結
0章 體微機械加工與硅各向異性刻蝕
1章 表面微機械加工
2章 工藝組合
3章 聚合物MEMS
4章 微流控應用
5章 MEMS典型產品實例
附錄A 典型MEMS材料特性
附錄B 梁、懸臂梁、板的常用力學公式
附錄C 處理二階動態繫統的基本方法
附錄D 常用材料的制備方法、刻蝕劑和能夠承受的最高溫度
附錄E 常用材料去除工藝
附錄F 材料和工藝之間的兼容性總結
附錄G 商用慣性傳感器比較部分習題答案
內容簡介
本書版被翻譯成3種文字出版發行，並已被美國一些有名大學作為教科書，在MEMS領域享有較高聲譽。全書共分15章。、2章概括了基本傳感原理和制造方法；第3章討論了當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4～9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的傳感器與執行器；0～11章詳細介紹了微制造中很常用的體微機械加工和表面微機械加工技術，而器件制造方法則插入到實例研究中；2章討論了工藝技術的綜合應用；3章介紹了與聚合物有關的MEMS制造技術；4章討論了微流控原理及應用。根據這些敏感與執行方法以及制造方法；5章選擇了MEMS商業化產品實例進行介紹。
本書循序漸進，體繫嚴密，適合作為微機電繫統（MEMS）、傳感器、微電子、機械工程、儀器儀表等專業的高年級本科生和研究生教材，也適合於這些領域的科技人員參考。
