內容簡介
本書結合功能薄膜的特點和工程應用與發展實際，概要地講述了薄膜的含義、特征和分類及功能薄膜設計的原則；重點講述了氣相沉積、三束材料表面改性、復合處理等優選功能薄膜沉積制備方法、原理、工藝特點及適用的領域；在裝飾與機械功能薄膜中，講述了主要膜繫、膜繫的設計原則，並分別列舉了裝飾與機械功能膜的典型應用及發展趨勢；在物理和特殊功能薄膜中，講述了微電子、電磁、光學、光電子、集成光學等功能薄膜以及幾種特殊的功能薄膜的特點及其典型的應用；很後扼要地介紹了微細加工技術、微機電繫統加工的特點、典型器件與繫統的新應用等內容。全書內容繫統，深入淺出地介紹了一些新構思、新材料、新器件所實現的工程應用。
本書可供從事材料表面技術與工程、薄膜材料工藝與應用研究、設計、制造、管理的科技人員參考，也可供高等院校材料專業和相近專業師生使用。
