內容簡介
20世紀微電子的成就推動人類社會進入了信息時代,微電子小型化的發展趨勢促使納米科技崛起,成為多學科交叉研究的新領域。在納米科技中很重要的學科是電子學,電子學至今經歷了真空電子學、固體電子學,納電子學三個階段。
本書以真空科技為出發點,涉及電子學發展的過程,討論納米科技的基礎問題。包括納米科技的基礎理論、納米材料、納米材料的制備、測量表征、納米傳感器、納米功能器件、納電子器件、關聯電子學和智能電子學等內容。
本書適用於從事真空科技、納米科技有關工作的本科生、研究生和科技工作者參考。