了得網工業技術_射頻等離子體物理學

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射頻等離子體物理學
該商品所屬分類：工業技術 -> 工業技術
【市場價】	1059-1536元
【優惠價】	662-960元
【作者】	帕斯卡·夏伯特英尼古拉斯·布雷斯韋特
【出版社】	科學出版社
【ISBN】	9787030459190
【折扣說明】	一次購物滿999元台幣免運費+贈品一次購物滿2000元台幣95折+免運費+贈品一次購物滿3000元台幣92折+免運費+贈品一次購物滿4000元台幣88折+免運費+贈品
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內容介紹

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產品名稱：射頻等離子體物理學

是否是套裝：否

書名：射頻等離子體物理學射頻等離子體物理學

代碼：128

出版社名稱：科學出版社

出版時間：2015年10月

作者：帕斯卡·夏伯特,(英)尼古拉斯·布雷斯韋特

作者地區：法國

譯者：王友年,徐軍,宋遠紅

開本：16開

ISBN編號：9787030459190

　　　　

　　　　

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射頻等離子體物理學

作者:(法)帕斯卡·夏伯特(Pascal Chabert),(英)尼古拉斯·布雷斯韋特(Nicholas Braithwaite) 著；王友年,徐軍,宋遠紅譯

定價:128

出版社:科學出版社

出版日期:2015年10月01日

頁數:321

裝幀:平裝

ISBN:9787030459190

內容虛線

內容簡介

針對微電子工業中的材料處理工藝（如半導體芯片加工），介紹有關的的低氣壓射頻等離子體的產生方法及物理特性，涉及目前很重要的三種射頻等離子體源（單頻及多頻電容耦合，電感耦合，螺旋波耦合）及其關聯性。書中也論述了低溫高密度等離子體在微電子器件制備等領域應用的近期新進展及相關技術問題。作者在書中精心設計了超過100道習題，有利於讀者深入了解掌握所涉及的基本概念。

●第1章概論
●1.1等離子體
●1.2微電子學中的等離子體工藝
●1.3等離子體推進
●1.4射頻等離子體:E，H和W模式
●1.5內容簡介
●第2章等離子體動力學與平衡
●2.1微觀描述
●2.2宏觀描述
●2.3整體粒子和能量平衡
●2.4電動力學描述
●2.5本章總結
●第3章有界等離子體
●3.1空間電荷鞘層區
●3.2等離子體/鞘層過渡
●3.3等離子體區:輸運模型
●3.4本章總結
●第4章射頻鞘層
●4.1響應時間
●4.2離子動力學......

作者簡介

(法)帕斯卡·夏伯特(Pascal Chabert),(英)尼古拉斯·布雷斯韋特(Nicholas Braithwaite) 著；王友年,徐軍,宋遠紅譯

帕斯卡·夏伯特：法國科學院研究中心（CNRS)主任，目前是法國巴黎綜合理工學院等離子體物理實驗室低溫等離子體研究小組的負責人，專長是等離子體物理及等離子體工藝。
尼古拉斯·布雷斯韋特：英國開放大學工程物理教授，所帶領的研究小組主要從事技術等離子體物理研究。自1998年起，一直是《等離子體源科學及技術》（PZaa Sources Science & Technology）的編委。

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