1 硬質膜的研究進展
1.1 硬質膜概述
1.2 氮化物硬質膜的研究進展
1.2.1 單一金屬氮化物膜
1.2.2 氮化物膜的多元化發展
1.2.3 多元氮化物膜的多層和梯度化設計
2 氮化物膜的應用現狀
3 真空鍍膜技術
4 鍍膜工藝參數與研究方法
5 (Ti,Al,Zr,Cr)N多元單層膜的制備與微結構
6 (Ti,Al,Zr,Cr)N多元單層膜的性能
7 (Ti,Al,Zr)N/(Ti,A1,Zr,Cr)N多元雙層膜的制備與微結構
8 (Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元雙層膜的性能
9 CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元雙層膜的制備與微結構
10 CrN/(Ti,A1,Zr,Cr)N多元雙層膜的性能-
11 TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元梯度膜的制備與微結構
12 TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元梯度膜的性能
13 結論與展望
參考文獻
1 硬質膜的研究進展
1.1 硬質膜概述
1.2 氮化物硬質膜的研究進展
1.2.1 單一金屬氮化物膜
1.2.2 氮化物膜的多元化發展
1.2.3 多元氮化物膜的多層和梯度化設計
2 氮化物膜的應用現狀
3 真空鍍膜技術
4 鍍膜工藝參數與研究方法
5 (Ti,Al,Zr,Cr)N多元單層膜的制備與微結構
6 (Ti,Al,Zr,Cr)N多元單層膜的性能
7 (Ti,Al,Zr)N/(Ti,A1,Zr,Cr)N多元雙層膜的制備與微結構
8 (Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元雙層膜的性能
9 CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元雙層膜的制備與微結構
10 CrN/(Ti,A1,Zr,Cr)N多元雙層膜的性能-
11 TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元梯度膜的制備與微結構
12 TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多元梯度膜的性能
13 結論與展望
參考文獻