射頻等離子體物理學
作 者: (法)帕斯卡·夏伯特(Pascal Chabert),(英)尼古拉斯·布雷斯韋特(Nicholas Braithwaite) 著;王友年,徐軍,宋遠紅 譯 著
定 價: 128
出?版?社: 科學出版社
出版日期: 2015年10月01日
頁 數: 321
裝 幀: 平裝
ISBN: 9787030459190
內容簡介
針對微電子工業中的材料處理工藝(如半導體芯片加工),介紹有關的的低氣壓射頻等離子體的產生方法及物理特性,涉及目前很重要的三種射頻等離子體源(單頻及多頻電容耦合,電感耦合,螺旋波耦合)及其關聯性。書中也論述了低溫高密度等離子體在微電子器件制備等領域應用的很新進展及相關技術問題。作者在書中精心設計了超過100道習題,有利於讀者深入了解掌握所涉及的基本概念。
(法)帕斯卡·夏伯特(Pascal Chabert),(英)尼古拉斯·布雷斯韋特(Nicholas Braithwaite) 著;王友年,徐軍,宋遠紅 譯 著
帕斯卡·夏伯特:法國科學院研究中心(CNRS)主任,目前是法國巴黎綜合理工學院等離子體物理實驗室低溫等離子體研究小組的負責人,專長是等離子體物理及等離子體工藝。
尼古拉斯·布雷斯韋特:英國開放大學工程物理教授,所帶領的研究小組主要從事技術等離子體物理研究。自1998年起,一直是《等離子體源科學及技術》(PZaa Sources Science & Technology)的編委。
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