●序言(張汝京)
前言
1概述
1.1碳化硅的歷史和性質
1.2碳化硅的應用及材料要求
1.3碳化硅材料在應用中的注意事項
1.3.1電子器件
1.3.2微機電繫統
1.4碳化硅的主要生長方法
1.4.1籽晶升華生長
1.4.2高溫化學氣相沉積
1.4.3鹵化物化學氣相沉積
1.4.4改良版的物理氣相傳輸
1.4.5連續進料物理氣相傳輸
1.4.6頂部籽晶液相生長
1.4.7碳化硅外延層技術的發展
1.5新趨勢和未來發展
2碳化硅材料生長的基本原理
2.1碳化硅晶型
2.2表征技術
2.2.1生長過程可視化
2.2.2晶體表征
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