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出版社:電子工業出版社 ISBN:9787121237126 商品編碼:54296560985 開本:16開 出版時間:2014-07-01 頁數:130000 代碼:39
" 商品基本信息,請以下列介紹為準 | 商品名稱: | 基於機械-化學方法的微納制造技術 工業技術 書籍 | 作者: | 史立秋著 | 代碼: | 39.8 | 出版社: | 電子工業出版社 | 出版日期: | 2014-07-01 | ISBN: | 9787121237126 | 印次: | | 版次: | 1 | 裝幀: | 平裝 | 開本: | 16開 |
內容簡介 | 隨著電子器件越來越小型化,如何方便、可控地在單晶硅表面設計和構築具有特定功能和特性的跨尺度微納復合結構一直是當今微納制造領域中的熱點和難點問題。本書針對該問題,提出“基於機械-化學方法的硅表面功能性微納結構制造新方法”這一前沿性課題。全書共6章,敘述應用機械-化學方法在硅表面制造功能性微納結構的全過程及其表征與分析,並對後期的應用進行繫統的研究。 |
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