出版社:國防工業出版社 ISBN:9787118108873 商品編碼:10603904616 品牌:文軒 出版時間:2016-05-01 代碼:128 作者:沃克爾·肯普(VolkerKempe)著張新
" 作 者:(德)沃克爾·肯普(Volker Kempe) 著;張新國 等 譯 定 價:128 出 版 社:國防工業出版社 出版日期:2016年05月01日 頁 數:410 裝 幀:平裝 ISBN:9787118108873 ●第1章緒論 ●1.1MEMS時期之前的概況 ●1.2應用與市場 ●1.3慣性MEMS器件的組成 ●參考文獻 ●第2章換能器 ●2.1各向異性材料特性、張量和旋度 ●2.1.1應力、應變與壓阻效應 ●2.1.2坐標繫旋轉 ●2.2壓阻式換能器 ●2.2.1壓電電阻器 ●2.2.2硅壓阻式傳感器 ●2.2.3多晶硅的壓電電阻 ●2.3壓電換能器 ●2.3.1壓電效應 ●2.3.2壓電方程 ●2.4電容式換能器 ●2.4.1靜電力 ●2.4.2平行板式電容 ●2.4.3傾斜板式電容 ●部分目錄 該書共分9個章節。其中6個章節(包括引言)用於講述MEMS相關技術的理論基礎。靠前章講述了慣性MEMS中很重要的傳感器-加速度計和陀螺儀的相關背景知識;第二章講述了諸如彈性力和阻尼力等非慣性力的理論知識,這些在設計慣性MEMS傳感器時很好重要;第三、四章描述了主要MEMS工藝的制作技術;第五章講述MEMS封裝技術;第六章講述MEMS接口電路技術。前六章內容不僅適合慣性MEMS行業的技術人員,而且對其他想對MEMS有總體了解的人員也有很大的吸引力。第七、八章為核心內容,講述慣性MEMS傳感器-加速度計和陀螺儀 (德)沃克爾·肯普(Volker Kempe) 著;張新國 等 譯 沃爾·肯普,在院校和工業領域有著超過40年的研究與開發經驗。他領導奧地利Mikro SYSTEMS公司的微電子工程部10餘年。在2003年,作為Sensor Dynamics AG的聯合創始人之一,擔任該公司的副總裁。目前他致力於功能擴展、技術提升以及MEMS慣性傳感器的應用等方面的工作。
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