●第1章 緒論
1.1 背景
1.2 氣態分子污染物及其分類
1.3 氣態分子污染物的來源
1.3.1 外部來源
1.3.2 內部來源
1.3.3 按AMC分類的來源
1.3.4 按散發源分類的來源
參考文獻
第2章 氣態分子污染物的影響
2.1 AMC對制程的影響
2.2 各類AMC的影響
2.2.1 酸性分子污染物
2.2.2 堿性分子污染物
2.2.3 可凝結分子污染物
2.2.4 摻雜污染物
參考文獻
第3章 電子潔淨室氣態分子污染環境控制標準及檢測方法
3.1 電子潔淨室環境控制標準發展歷史
3.2 電子潔淨室AMC相關規範簡介
3.2.1 國際標準化組織ISO 14644
3.2.2 日本工業標準委員會JIS B9917
3.2.3 國際半導體設備與材料協會SEMI標準
3.2.4 中國國家標準GB/T 25915和GB/T 36306
3.2.5 國際器件與繫統藍圖標準
3.3 氣態分子污染相關標準總結與對比
3.3.1 不同國家和地區的潔淨室控制規範
3.2.2 不同機構組織的潔淨室控制規範
3.3.3 建築環境與潔淨室環境控制規範
3.3.4 大氣環境與潔淨室環境控制規範
3.3.5 對比討論
3.4 潔淨室AMC：檢測及監測方法
3.4.1 酸性氣態分子污染物檢測
3.4.2 堿性氣態分子污染物檢測
3.4.3 可凝結氣態分子污染物檢測
3.4.4 摻雜污染物檢測
3.5 潔淨室AMC檢測實際案例
3.5.1 測試背景
3.5.2 測試方法
3.5.3 測試結果
參考文獻
第4章 吸附淨化技術
4.1 吸附技術
4.1.1 物理吸附
4.1.2 化學吸附
4.1.3 去除效率與吸附容量（容污量）
4.2 吸附理論
4.2.1 吸附等溫線分類
4.2.2 常見吸附等溫線模型
4.2.3 吸附動力學
4.2.4 吸附穿透曲線
4.2.5 吸附帶理論
4.2.6 吸附床壓降模型
參考文獻
第5章 氣體污染物淨化材料
5.1 物理吸附材料
5.1.1 活性炭
5.1.2 活性氧化鋁
5.1.3 硅膠
5.1.4 沸石分子篩
5.1.5 金屬有機框架材料
5.2 化學吸附材料
5.2.1 浸漬活性炭和氧化鋁
5.2.2 離子交換樹脂
5.3 吸附淨化材料的選擇及影響因素
5.3.1 吸附淨化材料的選擇
5.3.2 吸附淨化材料性能的主要影響因素
5.4 氣體污染物淨化材料形式
5.4.1 珠狀活性炭
5.4.2 負載無紡布
5.4.3 擠壓型炭復合結構
5.4.4 黏結濾材面板
參考文獻
第6章 氣態分子污染控制繫統及設備
6.1 電子潔淨室環境控制繫統
6.1.1 大廳式潔淨室及局部微環境繫統
6.1.2 走道隔間式潔淨室繫統
6.2 使用化學過濾器的氣態分子污染物控制繫統
6.2.1 新風處理機組（MAU）結合化學過濾器
6.2.2 回風處理機組（RAU）結合化學過濾器
6.2.3 風機結合化學過濾器
6.3 化學過濾器
6.3.1 化學過濾器濾芯種類
6.3.2 化學過濾器結構形式
6.3.3 化學過濾器運行參數
6.4 空氣水洗機
6.4.1 液氣比與水霧粒徑對去除效率的影響
6.4.2 吸收液水質對去除效率的影響
6.5 潔淨室機臺晶圓盒的AMC控制
6.5.1 氣體吹掃法
6.5.2 真空充填淨化
6.6 超純淨空氣繫統（UPA）
參考文獻
第7章 氣體淨化材料及化學過濾器性能評價
7.1 氣體污染物淨化材料性能評價方法及指標
7.1.1 氣體污染物淨化材料性能評價相關標準
7.1.2 氣體污染物淨化材料性能評價指標及方法
7.1.3 氣體污染物淨化材料性能測試方法及流程
7.2 典型氣體污染物淨化材料的性能測試
7.2.1 典型甲苯淨化材料的性能
7.2.2 典型SO2淨化材料的性能
7.2.3 典型甲醛淨化材料的性能
7.3 化學過濾器性能評價方法及指標
7.3.1 化學過濾器性能評價相關標準
7.3.2 化學過濾器性能評價指標及計算方法
7.3.3 化學過濾器測試流程及測試繫統
7.4 典型化學過濾器甲苯淨化性能測試
7.5 測試參數對淨化材料或裝置性能的影響
7.5.1 氣體種類
7.5.2 測試濃度
7.5.3 溫濕度
7.5.4 風速
7.5.5 床層厚度
附表A
附表B
參考文獻
附錄1 專用名詞縮寫及簡稱
附錄2 半導體工藝流程簡介及相關術語

本書全面地介紹了該行業中對於生產環境中空氣污染控制要求的升級轉變，氣態分子污染物（AMC）的相關控制規範和要求，以及常見的潔淨廠房AMC控制方法和繫統設備。在介紹基礎知識及相關理論的基礎上，結合工程示範的實測數據分析，使讀者能夠更加真實地了解目前潔淨室AMC控制的現狀。當下，恰逢我國大力推動集成電路行業發展，大量電子潔淨廠房興建，本書出版也恰逢其時，對業內人員更具實際參考價值。

裴晶晶,薛人瑋,劉俊傑 著