●第1章  概述
●  1.1  硅的簡介
●  1.2  硅材料工業概況
●  1.3  多晶硅的生產方法
●  小結
●  習題
●第2章  純水的制備
●  2.1  水的概述
●  2.2  離子交換法簡介
●  2.3  去離子水（高純水）的制備工藝
●  2.4  離子交換法制備純水
●  2.5  純水制備繫統主要設備及工作原理
●  2.6  純水制備繫統運行控制
●  2.7  純水制備繫統的清洗
●  2.8  高純水的測量
●  小結
●  注釋
●  習題
●第3章  工業硅的生產
●  3.1  工業硅生產原理及影響因素
●部分目錄

本書主要講述了改良西門子法生產多晶硅的制備原理。內容包括多晶硅原料制備、原料提純、多晶硅制備、尾氣回收、硅芯的制備等核心內容，同時對超純水的制備，氫氣、氯氣的制備和淨化作了詳細介紹。本書緊密結合生產實踐，注重了理論與實踐的有機結合。
本書可作為高職高專硅材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶硅生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。