●  第1章薄膜制備方法
●
●1.1基本概念
●
●1.1.1薄膜生長過程
●
●1.1.2薄膜結構模型
●
●1.1.3等離子體
●
●1.2物理氣相沉積
●
●1.2.1蒸發鍍膜
●
●1.2.2濺射鍍膜
●
●1.2.3離子鍍膜
●
●1.2.4離子束輔助氣相沉積
●
●部分目錄

本書重點介紹了作者課題組近幾年來在國家自然科學基金、國防預研基金、重點實驗室基金等一繫列基礎研究項目的支持下，在物理氣相沉積硬質薄膜強韌化方法、理論、表征及強韌化薄膜應用領域的研究成果。主要論述了如何制備和表征具有強、韌性能的薄膜，包括薄膜的制備方法，薄膜強化技術，薄膜韌化技術，薄膜的強韌性能表征，薄膜內應力，強韌化薄膜實例。