出版社:國防工業出版社 ISBN:9787118116366 商品編碼:41287331313 品牌:文軒 出版時間:2018-09-01 代碼:128 作者:奧列格·庫儂楚克(OlegKononchuk
" 作 者:(法)奧列格·庫儂楚克(Oleg Kononchuk) 等 著 劉忠立,寧瑾,趙凱 譯 定 價:128 出 版 社:國防工業出版社 出版日期:2018年09月01日 頁 數:385 裝 幀:精裝 ISBN:9787118116366 ● 第一部分絕緣體上硅材料及制造 ● ●第1章絕緣體上硅晶圓片材料及制造技術 ● ●1.1引言 ● ●1.2SOI的晶圓片制造技術概述 ● ●1.3SOI量產制造技術 ● ●1.4SOI晶圓片結構及表征 ● ●1.5晶圓片直接鍵合:濕表面清洗技術 ● ●1.6直接鍵合機理的表征 ● ●1.7Si和SiO2直接鍵合的其他表面制備工藝 ● ●1.8利用離子注入、鍵合及剝離量產SOI襯底的智能剝離技術 ● ●部分目錄 本書分為兩個部分;第一部分包括SOI材料及制造,第二部分包括SOI器件及應用。本書的前幾章介紹SOI晶片的制造技術,優選SOI材料的電學特性,以及短溝道SOI半導體晶體管的建模。涉及部分耗盡及全耗盡二種SOI技術。第6章和第7章關注的是無結及氧化物上鰭(fin)型場效應晶體管。還介紹了CMOS器件變化趨勢和靜電放電中的一些關鍵技術。第二部分涵蓋最近的和已成熟的技術。它們包括射頻應用的SOI晶體管,超低功耗應用的SOICMOS電路,以及利用SOI的三維集成來提高器件性能的方法.
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