●第一章 緒論
1.1 微器件制備質量優化的目的和意義
1.2 國內外研究概況
1.2.1 微加工技術概述
1.2.2 飛秒激光技術的發展
1.2.3 飛秒激光微加工特點及應用
1.2.4 飛秒激光雙光子微加工研究概況
1.3 本書的主要內容
第二章 飛秒激光雙光子微加工機理
2.1 引言
2.2 飛秒激光與物質的相互作用
2.2.1 激光與物質的相互作用
2.2.2 飛秒激光與物質相互作用的特性
2.3 雙光子吸收原理
2.3.1 雙光子吸收過程
2.3.2 雙光子吸收的理論模型
2.4 飛秒激光雙光子微加工的原理及特點
2.4.1 飛秒激光雙光子微加工的原理
2.4.2 飛秒激光雙光子微加工的特點
2.5 飛秒激光雙光子聚合材料
2.5.1 自由基聚合材料
2.5.2 陽離子聚合材料
2.6 本章小結
第三章 飛秒激光微加工繫統及器件制備
3.1 引言
3.2 飛秒激光微加工繫統
3.2.1 實驗繫統的組成
3.2.2 飛秒激光光源
3.2.3 激光共焦光路
3.2.4 曝光控制繫統
3.2.5 實時監測繫統
3.2.6 軟件繫統
3.3 微器件的制備
3.3.1 掃描方式
3.3.2 曝光方式
3.3.3 影響飛秒激光微加工質量的因素分析
3.4 本章小結
第四章 折射率不同對微加工的影響及其補償方法
4.1 引言
4.2 光在不同介質中傳播的理論分析
4.3 加工點光斑強度的數值模擬
4.3.1 不同加工深度焦點光斑光強分布
4.3.2 不同折射率材料焦點光斑光強分布
4.3.3 不同數值孔徑焦點光斑光強分布
4.4 像差計算及分析
4.5 像差補償理論及實驗
4.5.1 離焦點擴散函數
4.5.2 球差補償模型
4.5.3 球差補償數值模擬
4.5.4 球差補償方法
4.5.5 球差補償實驗
4.6 本章小結
第五章 飛秒激光微加工焦點光斑的三維整形
5.1 引言
5.2 加工點光斑模型
5.3 飛秒激光微加工光斑的軸向整形
5.3.1 軸向整形機理
5.3.2 軸向整形相位板的參數優化與數值模擬
5.4 飛秒激光微加工光斑的橫向整形
5.4.1 橫向整形機理
5.4.2 橫向整形相位板的參數優化與數值模擬
5.5 飛秒激光微加工光斑的三維整形
5.5.1 三維整形相位板的參數優化與數值模擬
5.5.2 光斑三維整形實驗
5.6 改善加工點光斑對稱性的光束整形方法
5.6.1 通過增加柱透鏡組對光束進行整形
5.6.2 通過增加預聚焦透鏡對光束進行整形
5.6.3 通過引入狹縫光闌對光束進行整形
5.7 本章小結
第六章 掃描步距對微加工質量的影響及優化方法
6.1 引言
6.2 覆蓋率的數學模型
6.2.1 的光強分布
6.2.2 覆蓋率的數學模型
6.2.3 覆蓋率對加工質量與加工效率的影響
6.3 掃描步距與微器件表面質量特征參數之間的定量
關繫
6.3.1 理論分析
6.3.2 數值模擬
6.3.3 實驗驗證
6.4 連續變步距掃描加工方法
6.4.1 工作原理
6.4.2 實驗驗證
6.5 本章小結
第七章 結論與展望
7.1 結論
7.2 展望
參考文獻
