●暫無

本書通過統一的方法和閉合解析法解決微機電問題中的微機電繫統原理。首先對宏觀和微觀世界的基礎無量綱參數進行了量綱分析，同時還介紹了微機電繫統相關的精密加工技術。此外本書還介紹了靜力平衡狀態下靜力學/力學和力矩對機械結構的影響、靜態結構中的機械原理、適用於微機電繫統電氣性質的電磁學基本方程以及從制動器到特殊用途的傳感器在內的微機電繫統構建模塊的整合等內容。