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出版社：電子工業出版社 ISBN：9787121328800 商品編碼：26247122358 品牌：文軒 出版時間：2018-02-01 代碼：49 作者：李曉干,劉勐,王奇編著
" 作 者:李曉干,劉勐,王奇 編著  定 價:49 出 版 社:電子工業出版社 出版日期:2018年02月01日 頁 數:140 裝 幀:平裝 ISBN:9787121328800  ●第1章 緒論 1
●本章小結 5
●習題 6
●第2章 硅單晶材料學 7
●2.1 硅及其化合物的基本性質 7
●2.2 硅的晶體結構 13
●2.3 硅的生長加工方法 16
●2.4 硅材料與器件的關繫 19
●本章小結 21
●習題 22
●第3章 薄膜基礎知識 23
●3.1 薄膜的定義及應用 23
●3.2 薄膜結構、缺陷及基本性質 26
●3.2.1 薄膜的基本結構及缺陷 26
●3.2.2 薄膜的基本性質 29
●3.3 薄膜襯底材料的一般知識 34
●3.3.1 玻璃襯底 34
●3.3.2 陶瓷襯底 35
●3.3.3 單晶體襯底 36
●3.3.4 襯底清洗 37
●部分目錄  本書對當前主要應用的薄膜技術及相關設備進行了深入淺出的介紹，主要包括作為很重要的半導體襯底的硅單晶材料學、薄膜基礎知識、PVD技術、CVD技術及其他相關的薄膜加工技術，在對各種技術進行介紹的同時，還對各種技術所應用的設備進行簡要介紹。本書提供配套電子課件。 本書作為半導體薄膜技術的入門書籍，既有薄膜技術的基本理論介紹，又提供了大量的設備基本結構知識，可以作為微電子等相關專業學生的教學參考書，對從事薄膜技術的工程技術人員而言，也可以作為相關的參考資料。  李曉干,劉勐,王奇 編著 李曉干，博士，畢業於英國利茲大學材料研究所，大連理工大學電子科學與技術繫副教授。中國儀器儀表協會傳感器分會理事；全國氣、濕敏專業委員會委員。主要研究方向為高性能半導體敏感材料，納米材料敏感電子學，件與檢測繫統。
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