●第一部分 物理和數學基礎
1 微繫統建模概論
1.1 微繫統的繫統級模型需求
1.2 耦合多物理場微繫統
1.3 多尺度建模與仿真
1.4 繫統級模型術語
1.5 自動化模型降階方法
1.6 復雜問題處理：參考VLSI範式
1.7 模擬硬件描述語言
1.8 繫統級模型的一般屬性
1.9 AHDL的仿真能力
1.10 可組合模型庫
1.11 參數提取、模型驗證和模型確認
1.12 總結
參考文獻
2 利用廣義基爾霍夫網絡理論的MEMS繫統級建模——基本原理
2.1 引言
2.2 微繫統特定繫統級建模的廣義基爾霍夫網絡
2.2.1 微器件及繫統的通用建模方法
2.2.2 從連續場到宏模型
2.2.3 宏模型推導方法
2.3 應用1：基於物理的靜電驅動泵的電流體宏模型
2.3.1 膜驅動的宏模型
2.3.2 閥的宏模型
2.3.3 管道的繫統級模型
2.3.4 基於物理的微泵繫統級模型
2.3.5 模型校準和參數提取
2.4 應用2：靜電驅動RF MEMS開關
2.5 總結
參考文獻
3 利用模型降階法的MEMS繫統級建模——數學背景
3.1 引言
3.2 概述
3.3 數學基礎
3.3.1 標量、矢量和矩陣
3.3.2 向量空間、子空間、線性無關和基
3.3.3 拉普拉斯變換
3.3.4 有理函數
3.3.5 範數
3.4 數值算法
3.5 線性繫統理論
3.5.1 傳遞函數
3.5.2 對任意兩個不同LTI繫統間偏差的測量
3.5.3 可控性和可觀性
3.5.4 實現理論
3.5.5 繫統的穩定性和無源性
3.6 模型降階方法的基本思想
3.7 矩匹配模型降階方法
3.7.1 矩和矩向量
3.7.2 投影矩陣W和V的計算
3.7.3 展開點的不同選擇
3.7.4 矩匹配MOR方法的發展
3.8 基於Gramian矩陣的模型降階方法
3.8.1 平衡截斷法的動機
3.8.2 平衡變換
3.8.3 截斷
3.8.4 平衡變換的計算
3.8.5 計算Gramian矩陣的加速方法
3.8.6 擴展到更普遍的繫統
3.9 降階模型的穩定性、無源性和誤差估計
3.9.1 矩匹配MOR方法的穩定性、無源性和誤差界
……
第二部分 MEMS器件的建模方法
第三部分 MEMS器件的數學模型降價
第四部分 完整微繫統建模
第五部分 軟件實現

本書是目前國內外專享敘述微機電繫統(MEMS)繫統級建模的專著。 MEMS技術發展對快速、高效及合適的設計工具提出了迫切需求，以便優化包括M件、控制和讀出電路以及封裝在內的完整繫統性能。針對繫統設計及優化需求，本書全面論述了MEMS繫統級建模技術，內容共分五部分。第一部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎，包括廣義基爾霍夫網絡理論基礎，模型降階技術的理論背景，繫統級仿真算法以及協同仿真。第二部分介紹了基於的宏模型建模方法及其在電熱執行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數學模型降階技術，包括基於矩匹配的線性模型降階技術及其在電熱模型中的應用，基於投影的模型降階技術及其在微流體、RF MEMS開關等模型中的應用，基於模態疊加的非線性模型降階技術及其在MEMS陀螺儀模型中的應用，靜電執行器的線性與非線性模型降階技術。第四部分等