●第1章 緒論 1.1 半導體產業 1.1.1 半導體產業的發展與現狀 1.1.2 未來半導體產業面臨的挑戰 1.2 晶圓制造流程 1.2.1 沉積工藝 1.2.2 光刻工藝 1.2.3 刻蝕工藝 1.2.4 離子注入工藝 1.3 晶圓制造繫統的構成 1.3.1 晶圓制造加工繫統 1.3.2 晶圓制造物料運輸繫統 1.4 晶圓制造中的調度問題 1.4.1 調度問題分類 1.4.2 調度問題研究現狀 1.5 晶圓制造中調度的重要意義 1.6 本書的主要內容安排 第2章 晶圓制造中的並行機調度問題 2.1 引言 2.2 晶圓制造中的並行機 2.2.1 晶圓制造加工繫統並行機 2.2.2 晶圓制造物料運輸繫統並行機 2.3 晶圓制造中的典型並行機調度問題 2.3.1 光刻機調度問題 2.3.2 爐管區調度問題 2.3.3 自動物料運輸小車調度問題 2.4 晶圓制造並行機調度問題的特點 2.5 晶圓制造並行機調度算法 2.6 本章小結 第3章 晶圓制造並行機調度問題建模 3.1 引言 3.2 晶圓制造加工繫統建模 3.2.1 基於數學規劃模型的晶圓制造加工繫統建模 3.2.2 基於排隊論模型的晶圓加工繫統建模 3.3 晶圓制造運輸繫統建模 3.3.1 基於復雜網絡的晶圓制造運輸繫統建模 3.3.2 基於馬爾可夫模型的晶圓制造運輸繫統建模 3.3.3 基於仿真模型的晶圓制造運輸繫統建模 3.4 本章小結 第4章 晶圓制造中的光刻機調度 4.1 引言 4.2 光刻機調度問題 4.2.1 問題描述 4.2.2 光刻機調度問題數學模型 4.3 基於DSRPT規則的非等效並行機動態調度 4.3.1 SRPT規則性能分析 4.3.2 DSRPT在線調度規則設計 4.4 基於遞階混合帝國競爭算法的光刻機調度算法 4.4.1 時間窗口滾動策略 4.4.2 編碼解碼策略 4.4.3 遞階混合帝國競爭算法 4.5 實驗驗證 4.5.1 算法參數實驗 4.5.2 關鍵影響因子分析 4.5.3 算法性能對比實驗 4.6 企業生產數據驗證 4.7 本章小結 第5章 晶圓制造中的爐管區調度 5.1 引言 5.2 晶圓制造爐管區並行批處理機在線調度 5.2.1 爐管區並行批處理機在線調度問題描述 5.2.2 爐管區並行批處理在線調度問題數學模型 5.3 基於調度規則的爐管區調度 5.3.1 組批階段啟發式算法 5.3.2 批排序階段啟發式算法 5.3.3 算法流程 5.4 基於混合蟻群算法的爐管區調度 5.4.1 基於混合蟻群算法的並行批處理機在線調度方法架構 5.4.2 混合蟻群算法 5.5 仿真試驗與分析 5.5.1 算法參數設計 5.5.2 對比實驗 5.6 企業生產數據驗證 5.7 本章小結 第6章 晶圓制造中的物料運輸繫統調度 6.1 引言 6.2 晶圓制造中的整體式物料運輸繫統調度問題 6.2.1 物料運輸繫統的類型 6.2.2 整體式物料運輸繫統調度 6.3 整體物料運輸繫統的兩階段調度方法 6.3.1 OHT小車的派工方法 6.3.2 運輸路徑動態規劃方法 6.4 基於蟻群算法的小車派工與路徑規劃集成調度方法 6.4.1 小車派工與路徑集成優化問題 6.4.2 基於蟻群算法的OHT小車運輸任務指派方法 6.4.3 基於時空網絡的運輸路徑規劃方法 6.5 算例驗證 6.5.1 蟻群算法的參數實驗 6.5.2 調度方法性能對比實驗 6.5.3 路徑規劃方法對調度算法性能的影響 6.6 本章小結 第7章 晶圓制造並行機調度性能評估 7.1 引言 7.2 晶圓制造並行機調度性能評價指標 7.3 晶圓制造加工繫統調度性能評估 7.3.1 基於仿真的晶圓制造加工繫統調度性能評估 7.3.2 基於面向Agent的有色賦時Petri網的晶圓制造加工繫統調度性能評估 7.4 晶圓制造運輸繫統性能評估 7.4.1 基於仿真的晶圓制造物料運輸繫統調度性能評估 7.4.2 基於Petri網模型的晶圓制造物料運輸繫統調度性能評估 7.5 本章小結 第8章 晶圓制造調度繫統並行機調度模塊 8.1 引言 8.2 應用背景及需求分析 8.2.1 應用背景 8.2.2 需求分析 8.3 並行機調度模塊總體設計 8.3.1 總體結構 8.3.2 數據庫設計 8.3.3 用戶界面設計 8.4 調度模塊詳細設計 8.4.1 基礎信息管理 8.4.2 車間並行機在線調度 8.4.3 生產過程管理 8.5 應用實例 8.5.1 可重入並行機調度 8.5.2 光刻機調度 8.5.3 爐管區調度 8.5.4 物料運輸繫統調度 8.6 本章小結 索引 參考文獻 附錄A 英漢排序與調度詞彙

本書在介紹品圓制造中的並行機調度問題和建模方法的基礎上，分別介紹了光刻機調度方法、爐管區調度方法以及物料運輸繫統調度方法。同時介紹了品網制造中的並行機調度性能評價方法，以及原型繫統的開發和應用。本書提出的方法和技術將為廣大企業、科研院所、高等院校進一步深入研究品圓制造調度問題提供理論基礎，為推動品圓制造調度技術發展和企業實際應用提供參考，對提升我國晶圓制造企業的核心技術競爭力及行業綜合實力具有重要意義。

    第3章晶圓制造並行機調度問題建模
     3.1引言
     晶圓制造繫統是典型的離散時間動態繫統，存在各種各樣的不確定性。設備情況變化、客戶需求變化、加工瓶頸變化、新產品試制、臨時工藝更改、返工等都會影響生產線正常運行，造成性能指標波動。晶圓制造過程集成混合了各種生產調度模型，大大增加了生產線復雜性和調度難度。為了設計有效的晶圓制造繫統並行機調度方法，首先需要建立合理的調度模型對不同設備調度的本質特點進行分析。
     具體來說，該模型應該具有以下功能： ①對並行設備的內在運行變化過程和機理進行分析，確定繫統的靜態和動態因素對繫統運行性能的影響，進而為建立有效的調度方法提供基等