●前言
第1章 緒論
1.1 研究背景及意義
1.2 MEMS動力學特性
1.3 MEMS非線性特性
1.4 微觀尺度力學理論研究方法概述
1.5 微結構動力學特性測試與實驗方法
1.6 MEMS數值模擬
1.7 吸合效應
1.8 微型梁的非線性振動
第2章 基於微極彈性理論的非線性微梁模型的尺度效應
2.1 引言
2.2 微極彈性理論介紹
2.3 控制方程及邊界條件
2.4 靜態彎曲
2.5 自由振動
2.6 本章小結
第3章 基於修正偶應力理論的微梁尺度效應非線性動力學
3.1 引言
3.2 控制方程及邊界條件
3.3 受迫振動分析
3.3.1 主共振(Ω≈p)分析
3.3.2 超諧共振(3Ω≈p)分析
3.3.3 亞諧共振(Ω≈3p)分析
3.3.4 2Ω≈p及Ω≈2p的振動
3.4 本章小結
第4章 基於修正偶應力理論的非線性微梁的時滯反饋控制
4.1 引言
4.2 控制方程及邊界條件
4.3 受迫振動分析
4.3.1 主共振(Ω≈p)分析
4.3.2 超諧共振(3Ω≈p)分析
4.3.3 亞諧共振(Ω≈3p)分析
4.4 本章小結
第5章 靜電激勵微簡支梁吸合電壓的尺度效應分析
5.1 引言
5.2 控制方程及邊界條件
5.3 吸合電壓特性分析
5.4 尺度效應分析
5.5 本章小結
第6章 總結
參考文獻