●第1章設計理論和實現方法
●1.1共面波導的設計理論和實現方法
●1.2模型的建立方法
●1.2.1微波集總模型
●1.2.2微波-熱-電轉換模型
●1.2.3微波-力-電轉換模型
●1.3與Ga.AsMMIC兼容的：MEMS工藝
●1.4微波、熱電勢和力的測試平臺
●1.5繫統級s參數模型
●1.6MEMS集成的微波功率檢測器在微波接收機前端的應用
●1.7MEMS集成的微波相位檢測器在鎖相環中的應用
●1.8MEMS集成的微波頻率檢測器在微波接收檢測中的應用
●1.9小結
●參考文獻
●第2章微波功率分配器
●2.1引言
●2.2微波功率分配器的模擬和設計
●2.3微波功率分配器的性能測試
●2.4微波功率分配器的繫統級s參數模型
●2.5小結
●部分目錄

《微電子機械微波通訊信號檢測集成繫統》共分為12章，從靠前章共性的設計理論和實現方法出發，對MEMS微波器件進行了一繫列設計、實驗和繫統級S參數模型的研究。這些器件包括：第2章的一分為二微波功分器，第3章的間接加熱熱電式功率傳感器，第4章的直接加熱熱電式功率傳感器，第5章的電容式功率傳感器，第6章的電容式和熱電式級聯功率傳感器，以及集成MEMS繫統，第7章的在線電容耦合式微波功率檢測器，第8章的在線定向耦合式毫米波功率檢測器，第9章微波相位檢測器和靠前0章微波頻率檢測器，靠前1章分別對微波功率、相位和頻率檢測器進行了封裝研究；很後，靠前2章進行了總結和展望。由於集成的MEMS相位檢測器和集成的MEMS頻率檢測器研究都是基於MEMS微波功率傳感器技術，因此，《微電子機械微波通訊信號檢測集成繫統》用較大篇幅來詮釋MEMS微波功率傳感器及其集成的微波功率檢測器的研究。
《微電子機械微波通等