●第l章 引言
1.1 MEMS集成傳感器
1.2 MEMS傳感器接口電路集成技術特點及發展現狀
1.2.1 主要技術特點
1.2.2 國內外發展趨勢
參考文獻
第2章 微加速度計接口ASIC集成技術
2.1 電容式加速度計接口電路
2.1. l 電容式微加速度計的工作原理
2.1.2 電容式加速度計接口電路
2.1. 3 哈爾濱工業大學設計的閉環電容式加速度計接口電路
2.2 集成壓阻式加速度計接口電路
2.2.1 壓阻式加速度計的工作原理
2. 2.2 壓阻式加速度計接口ASIC
2. 3 集成壓電式加速度計接口電路
2. 3. l 壓電式加速度計工作原理
2.3. 2 壓電式加速度計接口電路
2.4 集成諧振式加速度計接口電路
2.4. l 諧振式加速度計工作原理
2.4. 2 諧振式加速度計接口電路
2.5 集成熱對流武加速度計接口電路
2.5. 1 熱對流加速度計的工作原理
2.5. 2 熱對流加速度計接口電路
2.6 集成多軸加速度計接口電路
參考文獻
第3章 微機械陀螺接口ASIC集成技術
3.1 硅微機械陀螺
3.1. 1 微機械陀螺等效電學模型
3.1.2 接口電路原理
3. 1.3 PCB混合集成電路
3.2 石英微機械陀螺接口ASIC
3.2. 1 石英微機械陀螺基本原理
3.2. 2 石英微機械陀螺接口電路
3.3 典型集成微陀螺產品及應用
3.3.1 ADXRS300
3. 3.2 ADXRS614
參考文獻
第4章 磁傳感器接口ASIC集成技術
4.1 各向異性磁阻傳感器
4.1. 1 各向異性磁阻傳感器原理
4.1. 2 各向異性磁阻接口ASIC電路
4.2 巨磁阻傳感器
4.2.1 巨磁阻傳感器原理
4. 2.2 巨磁阻傳感器接口ASIC
4.3 巨磁阻抗傳感器
4.3. 1 巨磁阻抗傳感器原理
4. 3.2 巨磁阻抗傳感器接口ASIC
4.4 磁通門傳感器
4.4. 1 磁通門傳感器原理
4. 4.2 等效電學模型
4.4.3 磁通門傳感器接口ASIC
參考文獻
第5章 MEMS壓力傳感器等接口ASIC集成技術
5.1 集成壓力傳感器
5.1. l 集成壓力傳感器分類
5. 1.2 集成壓力傳感器結構及工作原理
5.1.3 壓力傳感器接口電路
5.1. 4 典型集成壓力傳感器產品及應用
5.1.5 國外各大公司集成壓力傳感器部分產品一覽
5.2微(型)麥克風
5.2.1 常見麥克風的種類
5. 2.2 MEMS微麥克風
5.2.3 電容式麥克風的工作原理
5.2. 4 微麥克風接口電路
5. 2.5 典型產品及應用
5.3 MEMS紅外傳感器及接口電路
5.3.1 MEMS紅外傳感器工作原理
5.3.2 接口電路及單片集成
參考文獻