●1NEMS傳感器的結構及加工工藝設計
●1.1NEMS傳感器件：一維納米材料
●1.1.1納米管、納米線、納米帶
●1.1.1.1碳納米管
●1.1.1.2納米線
●1.1.1.3納米帶
●1.1.2一維納米材料的機電性能
●1.2基於一維納米材料的NEMS生物傳感器設計
●1.2.1NEMS傳感器繫統設計
●1.2.2傳感器加工工藝
●1.2.3傳感器測試方案
●1.2.3.1掃描電鏡測試
●1.2.3.2器件的電特性測試
●1.2.3.3生物檢測實驗
●2基於一維納米材料的NEMS傳感器研究進展
●2.1碳納米管原位生長
●2.2碳納米管生長後組裝
●2.3碳納米管的多層結構制造
●2.4NEMS器件的電學特性研究進展
●2.5基於一維納米材料NEMS器件制備方法的研究意義
●部分目錄

微機電繫統(MEMS)具有體積小、成本低、易於集成和批量生產等優點，在信息、軍事、醫療、汽車、航天等領域有廣泛的應用。近年來，隨著納米材料和結構研究的深入，將納米材料、納米結構和納米加工與MEMS相結合，形成了一個新的研究方向納機電繫統（NEMS）。本書通過涉及物理、化學、生物、材料、電子、機械等多門學科，講述了利用納米材料/結構表現出的獨特的力、電、熱、光、磁等性能進行新型納傳感器件的研究逐漸成為NEMS研究的一個熱點。從納米材料的新效應和新性質出發，可以實現新功能或突破常規器件的性能極限，實現具有新原理或高性能（如高靈敏度、低功耗、低噪聲）的納米器件和繫統。

譚苗苗 著