●第1章 緒論
1．1 硅微機械陀螺儀及其發展
1．1．1 硅微機械陀螺儀的優點
1．1．2 硅微機械陀螺儀分類
1．2 硅微機械陀螺儀的發展
1．2．1 國外研究現狀
1．2．2 國內研究現狀
1．3 硅微機械陀螺儀設計過程
第2章 硅微機械陀螺儀原理及結構
2．1 引言
2．2 硅微機械陀螺儀的力學原理
2．2．1 哥氏加速度
2．2．2 硅微機械陀螺儀動力學方程
2．3 硅微機械陀螺儀運動方程
2．4 梳齒靜電力驅動和檢測原理
2．4．1 平板電容靜電力產生原理
2．4．2 梳齒電容檢測原理
2．4．3 梳齒電容靜電力驅動原理
2．5 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構設計
2．5．1 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構整體分析
2．5．2 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構模態分析
2．5．3 重力作用下的靜態應力仿真
2．5．4 優選位移時應力
2．5．5 衝擊仿真
2．5．6 熱應力仿真
2．5．7 諧響應分析
2．6 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構加工
2．7 本章小結
第3章 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構噪聲分析和繫統模型
3．1 引言
3．2 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構等效電氣模型和接口
3．2．1 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構等效電氣模型
3．2．2 環形二極管接口電路的抗噪特性
3．2．3 環形二極管接口電路的工作原理
3．3 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構繫統模型
3．4 雙質量線振動硅微機械陀螺儀驅動技術研究
3．4．1 雙質量線振動硅微機械陀螺儀自激驅動閉環方案
3．4．2 雙質量線振動硅微機械陀螺儀驅動回路工作點分析
3．4．3 雙質量線振動硅微機械陀螺儀驅動繫統仿真
3．4．4 雙質量線振動硅微機械陀螺儀驅動繫統測試
3．5 硅微機械陀螺儀結構噪聲
3．5．1 結構噪聲分析
3．5．2 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構噪聲測試
3．6 本章小結
第4章 雙質量線振動硅微機械陀螺儀正交校正技術研究及優化
4．1 引言
4．2 雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構誤差
4．2．1 正交誤差
4．2．2 阻尼不對稱
4．3 雙質量線振動硅微機械陀螺儀輸出信號的組成
4．3．1 哥氏信號
4．3．2 機械耦合信號
4．3．3 電耦合信號
4．3．4 力耦合信號
4．3．5 雙質量線振動硅微機械陀螺儀輸出信號
4．3．6 正交信號對雙質量線振動硅微機械陀螺儀輸出信號的影響
4．4 雙質量線振動硅微機械陀螺儀正交誤差校正
4．4．1 含有耦合剛度和阻尼的繫統模型
4．4．2 電荷注入法
4．4．3 正交力校正法
……
第5章 雙質量線振動硅微機械陀螺儀檢測閉環和頻率調諧技術研究
第6章 溫度對硅微機械陀螺儀的影響及抑制方法
第7章 雙質量線振動硅微機械陀螺儀測控電路設計及測試技術
參考文獻

《雙質量線振動硅微機械陀螺儀》介紹了廣泛應用於國防工業領域中的雙質量線振動硅微機械陀螺儀結構設計、加工、測控繫統設計、測試等方面的內容，涵蓋了幾乎整個雙質量線振動硅微機械陀螺儀的設計過程。全書共分為7章，其中：第1章為緒論，介紹了硅微機械陀螺儀的基本概念、特點及應用領域，國內外研究現狀以及該書的研究目的及意義；第2章為硅微機械陀螺儀原理及結構，主要介紹哥氏效應、陀螺動力學方程、雙質量線振動硅微機械陀螺儀全解耦結構設計及加工技術；第3章為雙質量線振動硅微機械陀螺儀模型和驅動技術研究，介紹了陀螺結構中主要的噪聲，建立了理想的陀螺結構機械繫統模型，並研究了基於自激振蕩技術的驅動閉環回路；第4章為雙質量線振動硅微機械陀螺儀正交校正技術研究及優化，分析了正交誤差的產生機理以及抑制的方法和途徑；第5章為雙質量線振動硅微機械陀螺儀檢測閉環和頻率調諧技術研究，提出了雙質量陀螺檢測模態傳遞函數，並設計了帶有等