本書繫統介紹了真空測量與控制的原理、技術和方法，內容涉及真空測量技術、各種真空傳感器和儀器電路、真空校準和真空檢漏的原理和方法、真空設備和真空繫統的自動控制等。本書在編寫過程中注意知識體繫的完整性，力求反映新技術、新成果，努力做到知識性和實用性的統一。編寫本書的主要目的在於讓讀者掌握真空狀態下全壓力和分壓力測量的方法及所用儀器的結構和工作原理，了解真空計校準的一些常識，熟悉常用的真空檢漏方法和檢漏儀器，具備真空儀器電路、控制繫統的初步分析和設計能力。

●0 緒論  0.1 真空測量  0.2 真空計校準  0.3 真空檢漏  0.4 真空測量儀器電路及其發展  0.5 真空設備控制技術1 真空測量概述  1.1 真空度的表征、單位和真空區域劃分  1.2 真空計分類  1.3 真空計測量範圍  1.4 真空測量的特點和真空計選擇原則2 液位式真空計  2.1 U型管真空計  2.2 壓縮式真空計3 彈性變形真空計和粘滯性真空計  3.1件真空表  3.2 電容式薄膜真空計  3.3 振膜真空計  3.4 磁懸浮轉子真空計4 熱傳導真空計  4.1 熱傳導真空計的工作原理  4.2 熱傳導真空計的測量範圍  4.3 電阻真空計  4.4 熱偶真空計  4.5 已知混合氣體成分真空度的測量  4.6 熱傳導真空計的優缺點5 電離真空計  5.1 熱陰極電離真空計的工作原理  5.2 普通型熱陰極電離真空計  5.3 熱陰極電離真空計的測量電路  5.4 高壓力熱陰極電離真空計  5.5 超高真空熱陰極電離真空計  5.6 冷陰極電離真空計  5.7 放射性電離真空計6 分壓力測量和殘餘氣體分析  6.1 概述  6.2 四極質譜計  6.3 其他質譜計  6.4 識譜技術7 真空計校準  7.1 概述  7.2 靜態膨脹法  7.3 動態流導法  7.4 標準壓縮式真空計  7.5 副標準真空計8 真空測量技術  8.1 氣體種類對真空測量的影響  8.2 測量繫統對被測繫統的影響  8.3 真空規管安裝對測量的影響  8.4 特殊條件下的真空測量9 真空檢漏概述  9.1 漏氣判斷和漏孔表示法  9.2 優選允許漏率的估算  9.3 檢漏方法分類  9.4 對檢漏方法的要求與選擇10 各種檢漏方法  10.1 靜態升壓法  10.2 氣泡檢漏法  10.3 氨氣檢漏法  10.4 真空計檢漏法  10.5 離子泵檢漏法  10.6 氫一鈀檢漏法  10.7 熒光檢漏法  10.8 放射性同位素檢漏法  10.9 慢性漏氣的加速檢測法11 真空檢漏儀器  11.1 高頻火花檢漏儀  11.2 鹵素檢漏儀  11.3 氣敏半導體檢漏儀  11.4 氦質譜檢漏儀  11.5 漏率測量的誤差  11.6 真空檢漏工作的注意事項12 標準漏孔  12.1 標準漏孔及其常用的結構形式  12.2 標準漏孔的校準  12.3 標準漏孔使用中應注意的問題13 真空測量儀器電路  13.1 WZK—1A復合真空計  13.2 DC-3型超高真空計  13.3 ZDZ-2D數字電阻真空計  13.4 數字化熱偶真空計  13.5 ZDR-10型微機化電離真空計  13.6 DNB束功率測量繫統設計14 真空設備與繫統的自動控制  14.1 真空繫統電氣控制概述  14.2 真空獲得設備控制電路  14.3 真空鍍膜機繼電器控制電路  14.4 真空熱處理爐真空測量與控制電路  14.5 真空冷凍干燥機電加熱繫統控制  14.6 真空钎焊爐溫度測控電路  14.7 鍍膜生產線程序控制繫統  14.8 真空壓力浸漆設備PLC控制繫統  14.9 同步輻射光源真空控制繫統  14.10 真空冶金設備抽氣裝置專家繫統參考文獻

本書繫統地介紹了真空測量、真空校準、真空檢漏、真空控制的原理和方法，介紹的主要內容有真空測量技術、液位式真空計、熱傳導真空計、熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、分壓力測量和殘餘氣體分析、真空計校準、真空檢漏的基本原理、各種檢漏方法、氦質譜檢漏儀及其他檢漏儀、標準漏孔、真空測量儀器電路、真空設備與繫統的自動控制等。 本書可作為高等學校真空技術及設備、材料科學與工程、物理學等相關專業本科生和研究生的教材，還可供從事真空獲得、真空測量和真空應用的工程技術人員參考。

    0 緒論 “真空”是指在指定空間內低於環境大氣壓力的氣體狀態，也就是該空間內氣體分子密度低於該地區大氣壓的氣體分子密度。不同的真空狀態，就意味著該空間具有不同的分子密度。在標準狀態（即0℃，101325Pa）下，氣體的分子密度為2.6870×10 25m-3，而在真空度為1×10-4Pa時，氣體的分子密度隻有2.65×10 16m-3。 接近沒有氣體的空間狀態稱為絕對真空，絕對真空實際上是不存在的。 今天，真空技術的發展已可獲得從大氣壓力直到10-14Pa、寬達20個數量級的壓力範圍。隨著真空獲得和真空測量技術的改進，這個範圍的下限正在不斷降低。 真空分為人工真空和自然真空。人工真空是在地球上通過對一容器抽氣而獲得的；而地球上動物生命的某些功能中，天生就會使用“真空技術”，如人的呼吸可使胸腔呈真空狀態（9.7等