●第一篇低溫低氣壓反應性氣體放電
第1章低溫低壓等離子體物理基礎
1.1低溫等離子體物理簡介
1.2低溫等離子體源
1.3低溫等離子體放電的研究方法
1.4本章小結
第2章射頻SiH4放電（一維模擬）
2.1SiH4氣體研究背景
2.2硅烷等離子體放電特性
2.3納米顆粒特性
2.4模擬結果與討論
2.5本章小結
第3章甚高頻SiH4、SiH4/H2放電（二維模擬）
3.1引言
3.2二維模型描述
3.3模擬結果與討論
3.4本章小結
第4章SiH4/NH3/N2放電
4.1引言
4.2低頻脈衝SiH4/NH2/N2放電
4.3雙頻SiH4/NH3/N2放電
4.4本章小結
第二篇低溫大氣壓反應性氣體放電
第5章低溫大氣壓等離子體物理基礎
5.1大氣壓等離子體物理簡介
5.2大氣壓氣體放電形式
5.3大氣壓等離子體放電的研究方法
5.4本章小結
第6章大氣壓乙炔微等離子體放電
6.1引言
6.2模型描述
6.3模擬結果與討論
6.4本章小結
第7章乙炔微放電中模式轉換現像
7.1引言
7.2模型描述
7.3模擬結果與討論
7.4本章小結
結論
參考文獻

  當今，隨著低溫等離子體技術的不斷發展，國內外學者對該領域的科研成果的應用及研究愈發關注。本書是對低溫等離子體中反應性氣體放電特性的較為全面和繫統的研究。全書內容主要分為兩篇：第一篇為低溫低氣壓反應性氣體放電，主要介紹了低溫等離子體放電的基礎知識、研究了射頻SiH4放電特性和二維甚高頻放電中相位差對SiH4、SiH4/H2等反應氣體放電特性的影響，以及SiH4/NH3/N2等反應氣體放電特性；第二篇為低溫大氣壓反應性氣體放電，主要介紹了低溫大氣壓等離子體放電的基礎知識、大氣壓乙炔微等離子體放電，以及乙炔微放電中模式轉換現像。本書比較繫統地介紹了反應性氣體放電特性，並給出了相應結論，為優化等離子體工藝提供了必要的科學依據以適用大部分科研人員的需要。
本書可作為高等學校等離子體物理專業初學者及相關專業科研人員的參考用書。