《一路"芯"程 集成電路的今昔與未來》
"叢書主編 張衛,教授、博士生導師,復旦大學微電子學院執行院長。主要從事集成電路工藝、半導體器件和半導體材料的研究。自1997年以來承擔863、國家自然科學基金、國家重大專項、上海市重大重點項目等20多項,在集成電路先導工藝技術、半導體器件和半導體材料等方面開展了繫統研究,並取得很多創新性成果,比如優選銅互連技術、新型阻變存儲器和半浮柵器件等。自1992年以來發表論文200多篇,申請專利180多項,其中美國專利39項。 本分冊作者 瀋磊,復旦大學微電子學院研究生導師,復旦大學騰飛書院導師,教授級高級工程師(正高級工程師)。中國半等