內容簡介
《國防科工委“十五”規劃教材:微機電繫統與微細加工技術》共分五章,包括微機電繫統和微細加工技術的發展趨勢,對微機電繫統原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電繫統的應用等內容進行了介紹和討論。《微機電繫統與微細加工技術》可作為機械工程類或其他工程類本科生、研究生課程的教材,也可以作為其他有關技術人員了解微機電繫統與微制造技術的參考書籍。
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