內容簡介
本書是電子科學與技術專業和微電子專業的實驗教材,內容包括半導體材料與器件的制備、測試、分析等四十三個實驗。按照實驗內容,全部實驗被分為半導體材料與器件的制備技術(實驗一至實驗十)、半導體材料電子顯微分析技術(實驗十一至實驗十七)、半導體材料基本物理性能參數測試(實驗十八至實驗三十五)、半導體器件性能測試(實驗三十六至實驗四十三)四個模塊,各模塊均包含驗證性實驗、綜合性實驗和設計性實驗三種類型的實驗,以適應不同專業層次實驗教學的需求。 本書可作為電子科學與技術專業及微電子專業本科生和研究生實驗教材, 也可以作為相關專業技術人員的參考書。