內容簡介
許立忠、孫麗波編寫的《微機電耦合動力學》主要介紹MEMs典型構件機電耦合及機電流體耦合動力學的相關理論與應用。全書共分12章,主要內容包括:微機電繫統及微機電繫統動力學問題的發展與應用現狀;靜電驅動微板、微梁機電耦合動力學理論;靜電驅動微板、微梁機電耦合非線性動力學理論;考慮壓膜阻尼的微梁機電流體耦合動力學理論;諧振式微型壓力傳感器敏感性分析;靜電微泵泵膜動力學、流量及結構優化分析;靜電驅動微板動力學實驗測試。
本書可供高等院校微電子、機電一體化等專業的師生閱讀,也可作為從事微機電繫統工程設計開發的研究生和科研技術人員參考。