| | | 非硅MEMS技術及其應用 | 該商品所屬分類:工業技術 -> 一般工業技術 | 【市場價】 | 1656-2400元 | 【優惠價】 | 1035-1500元 | 【作者】 | 陳文元,陳衛平,陳迪 著 | 【所屬類別】 | 圖書 工業技術 一般工業技術 | 【出版社】 | 上海交通大學出版社 | 【ISBN】 | 9787313125255 | 【折扣說明】 | 一次購物滿999元台幣免運費+贈品 一次購物滿2000元台幣95折+免運費+贈品 一次購物滿3000元台幣92折+免運費+贈品 一次購物滿4000元台幣88折+免運費+贈品
| 【本期贈品】 | ①優質無紡布環保袋,做工棒!②品牌簽字筆 ③品牌手帕紙巾
| |
版本 | 正版全新電子版PDF檔 | 您已选择: | 正版全新 | 溫馨提示:如果有多種選項,請先選擇再點擊加入購物車。*. 電子圖書價格是0.69折,例如了得網價格是100元,電子書pdf的價格則是69元。 *. 購買電子書不支持貨到付款,購買時選擇atm或者超商、PayPal付款。付款後1-24小時內通過郵件傳輸給您。 *. 如果收到的電子書不滿意,可以聯絡我們退款。謝謝。 | | | | 內容介紹 | |
開本:16開 紙張:膠版紙 包裝:精裝 是否套裝:否 國際標準書號ISBN:9787313125255 作者,陳衛平,陳迪著 出版社:上海交通大學出版社 出版時間:2015年03月 
" 編輯推薦 非硅MEMS技術是在硅MEMS技術基礎上發展起來的,又與硅MEMS技術互為補充。作、張衛平、陳迪及其團隊長期從事非硅MEMS技術的研究。根據多年的研究,《非硅MEMS技術及其應用(精)》中詳細敘述了非硅MEMS技術的特點,非硅材料,三維非硅微加工新技術,新型非硅微傳感器和微執行器等非硅MEMS技術及其應用。該書是作者長期從事非硅MEMS技術研究,理論結合實際,科學研究的總結。
目錄 第1章 緒論 1.1 MEMS技術及其特點 1.2 MEMS發展史 1.3 MEMS應用與市場 1.4 非硅MEMS技術 1.4.1 非硅MEMS技術的提出 1.4.2 非硅MEMS技術及其特點 1.4.3 本書內容 第2章 非硅MEMs材料 2.1 金屬 2.2 聚合物 2.2.1 普通光刻膠 2.2.2 SU-8和PMMA光刻膠 2.2.3 PDMS 2.2.4 聚酰亞胺 2.2.5 Parylene 2.3 磁性材料 2.4 壓電材料 2.4.1 壓電材料的機電特性 2.4.2 壓電陶瓷PZT 2.4.3 氮化鋁及氧化鋅 2.4.4 壓電聚合物PVDF 2.5 形狀記憶合金 第3章 非硅MEMS微加工技術 3.1 LIGA技術 3.1.1 同步輻射X光厚膠光刻工藝 3.1.2 微電鑄工藝 3.1.微復制工藝 3.2 準UGA技術 3.2.1 UV—LIGA技術 3.2.2 DEM技術 3.3 多層、傾斜和可動微結構加工工藝 3.3.1 多層微結構加工工藝 3.3.2 傾斜微結構加工工藝 3.3.3 可動微結構加工工藝 3.4 柔性和彈性襯底微結構加工工藝 3.4.1 柔性襯底微結構加工工藝 3.4.2 彈性襯底微加工工藝 3.5 硅/UV—LIGA組合微加工工藝 第4章 非硅微執行器 4.1 電磁型微電機 4.1.1 永磁轉子式直流無刷電磁微電機基本原理 4.1.2 永磁轉子式直流無刷電磁微電機的結構和工作原理 4.1.3 微電機的設計 4.1.4 微電機的發熱及摩擦 4.1.5 微電機的加工制造 4.2 抗磁懸浮靜電微電機 4.2.1 可用於靜電微電機的懸浮形式 4.2.2 靜磁懸浮Earnshaw理論的限定和超越 4.2.3 抗磁懸浮繫統的尺度特點 4.2.4 抗磁懸浮靜電微電機的結構布置 4.2.5 抗磁懸浮微電機的懸浮特性 4.2.6 抗磁懸浮微電機的旋轉驅動分析 4.2.7 抗磁懸浮微電機的工藝研究 4.2.8 抗磁懸浮微電機測控繫統 4.2.9 抗磁懸浮微電機的實驗 4.3 形狀記憶合金復合膜微驅動器 4.3.1 TiNi基形狀記憶合金膜 4.3.2 TiNi基形狀記憶合金膜的制備 4.3.3 TiNi基/Si形狀記憶合金復合膜微泵 4.4 基於非硅微加工技術的電化學驅動器 第5章 聚合物PeR生物芯片技術 5.1 引言 5.1.1 細胞內DNA的半保留復制 5.1.2 體外DNA擴增的PCR技術 5.1.3 傳統PCR儀與PCR芯片 5.1.4 PCR芯片的研究現狀 5.2 靜態腔式PCR芯片 5.2.1 反設計 5.2.2 加熱器和溫度傳感器設計 5.2.3 靜態腔式PCR芯片溫度設計 5.2.4 總體布局設計 5.3 集成式連續流PCR芯片設計 5.3.1 芯片反應流體通道布局設計 5.3.2 PCR芯片的集成薄膜加熱器和溫度傳感器 5.3.3 連續流式PCR芯片設計 5.4 PCR生物芯片的制造工藝 5.4.1 SU-8工藝研究 5.4.2 PDMS相關工藝 5.4.3 導管連接 5.4.4 微加熱器和傳感器 5.5 生物實驗、結果及其分析 5.5.1 PCR芯片表面改性 5.5.2 靜態腔式PCR生物實驗 5.5.3 連續流PCR 第6章 微光通信器件 6.1 光纖連接器 6.1.1 簡介 6.1.2 光纖連接器的研究現狀 6.1.3 金屬蓋板光纖連接器的結構及原理 6.1.4 曲面金屬蓋板光纖連接器陣列的加工 6.2 MEMS可調光衰減器 6.2.1 電磁驅動擋光片式MEMS可調光衰減器 6.2.2 電磁驅動錯位型MEMS可調光衰減器 6.3 擺動式電磁驅動.MEMS光開關 第7章 微慣性傳感器 7.1 微慣性傳感器概述 7.1.1 微慣性傳感器的應用 7.1.2 微加速度計 7.1.3 微陀螺儀 7.2 靜電懸浮微慣性傳感器 7.2.1 靜電懸浮微慣性傳感器的研究概況 7.2.2 靜電懸浮微慣性傳感器的工作原理 7.2.3 靜電懸浮微慣性傳感器的實現技術 7.2.4 靜電懸浮微慣性傳感器的設計 7.2.5 靜電懸浮微慣性傳感器的制造 7.2.6 靜電懸浮微慣性傳感器的測控 7.3 電磁懸浮轉子微陀螺 7.3.1 電磁懸浮轉子微陀螺的工作機理 7.3.2 電磁懸浮轉子微陀螺的結構及其優化 7.3.3 電磁懸浮轉子微陀螺的制作工藝 7.3.4 電磁懸浮轉子微陀螺的懸浮及旋轉特性測試 7.4 壓電式微固體模態陀螺 7.4.1 微固體模態陀螺的模型及工作機理 7.4.2 微固體模態陀螺的模態、諧振、科氏角速度效應分析 7.4.3 微固體模態陀螺的微加工工藝 7.4.4 微固體模態陀螺的驅動及檢測電路 7.4.5 微固體模態陀螺的原理樣機測試 7.5 抗高過載金屬微加速度計 7.5.1 抗高過載金屬微加速度計的結構設計 7.5.2 基於非硅MEMS技術的金屬微加速度計的微制造 7.5.3 電容式金屬微加速度計的自檢測試 第8章 MEMs強鏈技術 8.1 引言 8.1.1 MEMS強鏈的組成和工作原理 8.1.2 基於MEMS技術的強鏈整機集成研究 8.2 MEMS強鏈總體方案和設計技術 8.2.1 MEMS強鏈部件選型 8.2.2 MEMS強鏈總體方案和工作原理 8.2.3 MEMS強鏈各部分設計 8.3 MEMS強鏈的制作技術研究 8.3.1 驅動器(微電機)多層線圈定子和轉子的制作工藝 8.3.2 多層復雜結構反干涉齒輪集一體化制作工藝研究 8.3.3 棘輪棘爪的加工工藝 8.3.4 支架、微電機軸、光開關耦合輪、墊圈、插片加工 8.3.5 精密顯微裝配 8.4 MEMS強鏈硬盤加密 8.4.1 繫統結構與工作原理 8.4.2 身份認證與密鑰管理 8.4.3 數據流硬件加解密 8.4.4 仿真與測試 第9章 總結與展望 9.1 全書總結 9.2 展望 參考文獻 索引 | | | | | |