內容簡介
M.安·加裡森·達林、珍妮特·L.巴斯編*的《 微納尺度繫統工程》是國際上論述繫統工程方法在微 納技術中需求、發展和應用的**本專*,共分為4 部分。**部分闡述了繫統工程的基本概念及微納技 術這一主線,包括微納技術概述、繫統工程簡介、繫 統工程過程和敏捷繫統工程;第二部分講述了微納技 術的研發流程,包括尺度效應概述、微機電繫統 (MEMS)技術、納米技術概述、納機電繫統(NEMS) 相關的自上而下和自下而上的納米組裝技術;第三部 分論述了繫統工程過程的要素,包括建模與仿真、微 納尺度接口、繫統可靠性、測試與評估、項目的開發 與實現等;第四部分介紹了繫統工程對未來微納技術 發展的應用,包括納米技術、生物醫學微繫統、自組 裝技術以及對微米納米技術的預測。本書內容新穎、 數據充實,適合微米納米技術領域相關的MEMS、納米 技術、微電子、光電子、傳感與測控等領域研究院所 的設計師、工程師、管理者等科技人員,與高等院校 相關學科的科研人員、研究生、高年級本科生以及其 他相關科技人員閱讀。