內容簡介
本書是作者在十多年來從事晶體生長和工程熱物理交叉領域研究的基礎上編寫的。書中首先闡述晶體生長的基本原理和輸運現像,並介紹計算流體力學方法;其次著重討論薄膜制備中傳熱和傳質現像,包括薄膜制備繫統的復雜化學反應機理,並介紹與傳熱和傳質相關的晶體缺陷;然後,以多晶硅、藍寶石、氮化鎵等應用廣泛的晶體為例,詳細討論塊狀晶體、薄膜晶體制備過程的研究方法和優化策略;後,書中進一步討論從分子動力學角度理解開裂、位錯等晶體缺陷形成的機理,以及采用性原理輔助的分子動力學方法預測熱物性參數的理論。
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