內容簡介
微機電繫統(MEMS)技術研究主要針對微小繫統,它在汽車、無線電話、數碼相機以及醫療設備等方面都有著廣泛的應用。李基邦編著的這本《微機電繫統原理》通過作者研究以及參考其他有價值的文獻,針對MEMS提出了統一法和封閉形式解方法,便於讀者更好地理解MEMS中的線性和非線性問題,以及開展相關應用設計。
全書共分九章,章為緒論部分,介紹了微機電繫統的量綱分析法。第二章介紹了微制造技術。第三章為微機電繫統在靜力平衡條件下的靜力學分析。第四章為微結構的靜力性能分析。第五章為微機電繫統動力學分析。第六章為微機電繫統流體力學分析。第七章介紹MEMS設計中涉及的基於電磁學的基本方程。第八章和第九章介紹如何通過MEMS組件的組合設計具有特定功能的驅動器或傳感器。
全書共分九章,章為緒論部分,介紹了微機電繫統的量綱分析法。第二章介紹了微制造技術。第三章為微機電繫統在靜力平衡條件下的靜力學分析。第四章為微結構的靜力性能分析。第五章為微機電繫統動力學分析。第六章為微機電繫統流體力學分析。第七章介紹MEMS設計中涉及的基於電磁學的基本方程。第八章和第九章介紹如何通過MEMS組件的組合設計具有特定功能的驅動器或傳感器。