內容簡介
《先件微納制造與精密檢測技術》以非球件的制造技術為代表,完整闡述了以超精密、確定性為特征的先進光學制造繫統;重點論述了超精密磨削成形理論、磨削加工關鍵技術以及超精密機床設計技術;圍繞實現確定性拋光,詳細闡述了氣囊拋光原理以及進動運動控制技術;介紹了基於坐標測量和干涉測量的非球面面形誤差測量技術,加工軌跡規劃原理和數據處理方法,以及不同加工階件亞表面缺陷的檢測方法。
本書內容豐富,理論分析深入,既涵蓋了國內外先進光學制造技術領域的研究進展,又概括了作者多年積累的該領域科學研究成果,對於從事此方面研究的科技人員具有重要的參考價值和指導意義。
本書內容豐富,理論分析深入,既涵蓋了國內外先進光學制造技術領域的研究進展,又概括了作者多年積累的該領域科學研究成果,對於從事此方面研究的科技人員具有重要的參考價值和指導意義。