內容簡介
本書首先介紹了用於光刻的激光等離子體極紫外光源的國內外發展現狀,並繫統闡述激光等離子體光源的相關理論。其次,介紹了用於6.7nm光源探測的平像場光柵光譜儀的設計、搭建及標定。重點介紹了激光參數及靶條件對光源光譜輸出特性的影響,包括钆(Gd)靶激光等離子體的極紫外光譜及離帶熱輻射特性,預等離子體條件下Gd金屬靶等離子體的極紫外光譜特性,收集方向對極紫外光譜特性影響及Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶等離子體的極紫外光譜特性等。*後,詳細介紹了工作波長6.7 nm極紫外光源離子碎屑特性及其阻擋的實驗研究結果,給出了向真空靶室內充入緩衝氣體、外加磁場、雙脈衝激光打靶以及緩衝氣體和雙脈衝方案相結合等方法對Gd金屬靶光源離子碎屑的抑制效果,並對減緩光源碎屑的方法進行對比。