本書繫統闡述了微納結構與繫統的知識,主要包括微納繫統的基本概念、所用材料、加工方法、在多學科交叉領域的具體應用等。另外,本書還詳細探討了微納繫統領域內一些熱點研究方向的*成果,包括MEMS空間光調制器、MEMS開關、光纖傳感器、氣體傳感器等,並按照設計、加工、測試、封裝這一完整流程闡述了研發的方法和技巧,通過實例對各個研發環節的實踐經驗進行了簡明介紹,這都有助於讀者在實際工作中的參考。
本書可供微機械、光學工程、自動控制、先進制造等相關專業的教學、科研和工程技術人員閱讀參考,也可作為相應領域高年級本科生和研究生教材。