集成電路的制造是我國重點扶持的產業之一,但在其制造設備零部件的歸類方面經常會出現一些歸類不一致、歸類爭議,本書正是解決這些歸類中遇到的問題。
本書主要介紹了集成電路制造過程中不同工藝所用設備的組成結構及其零部件的歸類,其中大多數設備及其零部件均配有便於讀者理解的結構圖、原理圖,同時對這些零部件的歸類稅號歸納為表格形式,便於讀者查找。
本書將歸類中所應具備的商品知識與《中華人民共和國進出口稅則》中的列目結構及歸類原則有機結合起來,幫助讀者較好地理解商品歸類的依據和結論,書中介紹的制造工藝、設備的組成結構均為目前較為先進的工藝和結構。