●章 項目概況
1.1 項目介紹
1.2 項目布局
1.3 取得的重大進展
第2章 國內外研究情況
2.1 納米制造的國內外研究現狀
2.2 納米制造的國家戰略需求與發展趨勢
2.3 我國納米制造發展態勢
第3章 納米/亞納米精度制造
3.1 原子層材料去除理論模型與方法
3.2 納米精度制造的重要工程應用
3.3 納米精度制造的工藝裝備
第4章 宏微納跨尺度結構一致性制造
4.1 電場驅動納米壓印原理與方法
4.2 半導體材料的電化學納米壓印原理與方法
4.3 大幅面納米尺度結構的壓印制造裝備
4.4 功能化大面積納米結構的工程應用
第5章 納米結構與器件跨尺度集成制造
5.1 自約束納米加工的高精度可控制造
5.2 外場誘導三維微納結構制造
5.3 功能納米結構的按需區域構築
5.4 二維材料納米結構的可控加工方法
5.5 跨尺度制造的重要工程應用
第6章 激光微納制造新方法
6.1 超快激光時空整形微納加工新原理、新方法
6.2 超快激光微納制造過程的多時間尺度觀測
6.3 激光微納制造的重要工程應用
6.4 激光微納制造裝備
第7章 其他納米制造原理與技術突破
7.1 功能納米材料/結構的制備與應用
7.2 納米結構的無掩膜制造
7.3 新型納米器件制造
7.4 納米制造中的精度計量與溯源
第8章 展望
8.1 我國納米制造存在的不足和戰略需求
8.2 納米制造持續研究的設想和建議
參考文獻
成果附錄
附錄1 重要論文目錄
附錄2 獲得國家科學技術獎勵項目一覽表
附錄3 代表性發明一覽表
索引
內容簡介
本書通過多學科交叉研究，探索基於物理/化學效應的納米制造新原理與新方法，揭示納米尺度與納米精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的表面/界面效應、尺度效應等，闡明物質結構演變機理，建立納米制造過程的準確表征與計量方法，發展若干原創性納米制造工藝與裝備，為實現納米制造的一致性和批量化、提升我國納米制造工藝與裝備水平提供理論基礎。
