毛裡奇奧·戴普瑞編著、張娜、崔萬照、王芳編
譯的《固體中能量電子的輸運--計算機仿真及其在材
料分析和表征中的應用》是一本針對蒙特卡羅模擬電
子與材料相互作用過程的專著，主要內容包括描述電
子在固體中輸運過程的散射截面和散射機制，蒙特卡
羅策略，以及背散射繫數、二次電子發射繫數和二次
電子能量分布的模擬及與實驗結果的比較，最後給出
了模擬的相關應用。
本書內容既適合於具有一定物理電子學基礎。並
希望了解電子與材料相互作用模擬過程的初級入門者
，又適合於研究電子與材料相互作用的相關研究者參
考使用。

第1章 電子在固體中的輸運
1.1 電子束與固體的相互作用
1.2 電子能量損失峰
1.3 俄歇電子峰
1.4 二次電子峰
1.5 材料的表征
1.6 小結
參考文獻
第2章 散射截面：基本原理
2.1 散射截面和散射概率
2.2 阻止本領和非彈性散射平均自由程
2.3 射程
2.4 能量歧離
2.5 小結
參考文獻
第3章 散射機制
3.1 彈性散射
3.1.1 Mott散射截面與屏蔽盧瑟福散射截面
3.2 準彈性散射
3.2.1 電子一聲子相互作用
3.3 非彈性散射
3.3.1 阻止本領：Bethe-Bloch公式
3.3.2 阻止本領：半經驗公式
3.3.3 介電理論
3.3.4 Drude函數之和
3.3.5 極化子效應
3.4 非彈性散射平均自由程
3.5 界面現像
3.6 小結
參考文獻
第4章 隨機數
4.1 偽隨機數的產生
4.2 偽隨機數發生器的測試
4.3 基於給定概率密度的偽隨機數分布
4.4 區間[α，b]內均勻分布的偽隨機數
4.5 基於泊松概率密度的偽隨機數分布
4.6 基於高斯概率密度的偽隨機數分布
4.7 小結
參考文獻
第5章 蒙特卡羅策略
5.1 連續慢化近似
5.1.1 步長
5.1.2 沉積層與襯底的界面
5.1.3 散射極角
5.1.4 上一次偏轉後電子的方向
5.1.5 能量損失
5.1.6 軌跡的結束和軌跡的數目
5.2 能量歧離策略
5.2.1 步長
5.2.2 彈性和非彈性散射
5.2.3 電子一電子散射：散射角
5.2.4 電子一聲子散射：散射角
5.2.5 上一次偏轉後電子的方向
5.2.6 透射繫數
5.2.7 與表面距離相關的非彈性散射
5.2.8 軌跡的結束和軌跡的數目
5.3 小結
參考文獻
第6章 背散射繫數
6.1 固體靶材的背散射電子
6.1.1 采用介電理論(Ashley阻止本領)計算碳和鋁的背散射繫數
6.1.2 采用介電理論(Tanuma等阻止本領)計算硅、銅和金的背散射繫數
6.2 半無限襯底上單沉積層的背散射電子
6.2.1 碳沉積層(Ashley阻止本領)
6.2.2 金沉積層(Kanaya和Okayama阻止本領)
6.3 半無限襯底上雙沉積層的背散射電子
6.4 電子與正電子背散射繫數和深度分布的比較
6.5 小結
參考文獻
第7章 二次電子發射繫數
7.1 二次電子發射
7.2 研究二次電子發射的蒙特卡羅方法
7.3 研究二次電子的特定蒙特卡羅方法
7.3.1 連續慢化近似(CSDA)
7.3.2 能量歧離(ES)
7.4 二次電子發射繫數：PMMA和A1203
7.4.1 二次電子發射繫數和能量的函數關繫
7.4.2 ES策略與實驗的比較
7.4.3 CSDA與ES策略的比較
7.4.4 CSDA策略與實驗的比較
7.4.5 CPU時間
7.5 小結
參考文獻
第8章 二次電子能量分布
8.1 能譜的蒙特卡羅模擬
8.2 等離激元損失和電子能量損失譜
8.2.1 石墨的等離激元損失
8.2.2 SiO2的等離激元損失
8.3 俄歇電子的能量損失
8.4 電子能譜的彈性峰
8.5 二次電子能譜
8.5.1 二次電子的初始極角及方位角
8.5.2 理論和實驗數據的比較
8.6 小結
參考文獻
第9章 應用
9.1 臨界尺度SEM的線寬測量
9.1.1 CD SEM中的納米測量和線寬測量
9.1.2 橫向和深度分布
9.1.3 以入射角為函數的二次電子發射繫數
9.1.4 硅平臺的線掃描
9.1.5 硅襯底上PMMA線的線掃描
9.2 在能量選擇掃描電子顯微鏡中的應用
9.2.1 摻雜襯度
9.2.2 能量選擇掃描電子顯微鏡
9.3 小結
參考文獻
**0章 附錄A：Mott理論
10.1 相對論分波展開法
10.2 Mott截面的解析近似
10.3 原子勢
10.4 電子交換
10.5 固態效應
10.6 正電子微分彈性散射截面
10.7 小結
參考文獻
**1章 附錄B：Frohich理論
11.1 晶格場中的電子：哈密頓互作用
11.2 電子一聲子散射截面
11.3 小結
參考文獻
**2章 附錄C：Ritchie理論
12.1 能量損失和介電函數
12.2 均勻各向**固體
12.3 小結
參考文獻
**3章 附錄D：Chen、Kwei和Li等人的理論
13.1 出射和人射電子
13.2 非彈性散射的概率
13.3 小結
參考文獻
索引