●Unit 1 Basis of Materials Science 1
●1.1 Introduction 1
●1.2 Materials Science and Engineering 3
●1.3 Classification of Materials 8
●1.4 Advanced Materials 14
●1.5 Microstructure characterization of Materials 19
●Unit 2 Plasmas 42
●2.1 DC Glow Discharge 44
●2.2 RF Discharges 47
●2.3 High—Density Plasmas 50
●Unit 3 Vacuum Technology 59
●3.1 Pressure Ranges and Vacuum Pumps 60
●3.2 Vacuum Seals and Pressure Measurement 69
●Unit 4 Thin Film Deposition 76
●4.1 Physical Deposition 77
●4.2 Chemical Deposition 83
●4.3 Epitaxial Growth 94
●Unit 5 Devices Fabrication Process 102
●5.1 Introduction 102
●5.2 Ion implantation 103......
內容簡介
材料物理是物理學與材料科學的一個交叉學科,是材料科學的重要分支。由於不同高校材料物理專業的人纔培養方向有所不同,由於該行業技術革新迅速,因此通過英文論文和專利等了解該行業的*新進展等較為必要,另外,很多進口鍍膜設備的操作說明和界面等均為英文。在此背景下,我們教研室組織編寫了面向微電子及光電等行業的材料物理專業英語。主要包括七章,分別包括材料科學基礎、等離子體、真空技術、薄膜沉積、器件制備工藝、專業文獻閱讀(科技論文、專利、設備操作說明書)、科技論文寫作等部分。