生化MEMS器件
內容簡介
本書選擇了受到國家項目支持的幾個技術主題,在微型泵和微型閥、微懸臂梁生化傳感器、微型FAIMS、微光譜儀、基於MEMS的細胞操作與分析技術等幾個方面,繫統介紹了我國在生化MEMS方面的研究成果。這幾個技術主題從器件結構上和敏感技術上,都有獨到的特點。
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