●章緒論1
1.1引言/2
1.2晶體硅太陽能電池的理論基礎/6
1.2.1工作原理/6
1.2.2參數的測量及計算/12
1.3晶體硅太陽能電池效率損失機制/15
1.3.1光學損失/16
1.3.2電學損失/17
1.4界面鈍化結構/20
1.5晶體硅太陽能電池的關鍵工藝進展/24
1.5.1拋光去損傷工藝/24
1.5.2制絨工藝/25
1.5.3擴散工藝/27
1.5.4鈍化技術/28
1.5.5介質膜開膜工藝/31
1.5.6金屬化工藝/32
參考文獻/33
第2章p型鈍化發射極及背面接觸（PERC）太陽能電池技術40
2.1PERC太陽能電池的發展歷程/41
2.2p型PERC太陽能電池制造關鍵工藝/43
2.2.1選擇性發射極的制備/43
2.2.2背面鈍化膜的結構與制備/49
2.2.3背面局域金屬接觸技術/53
2.3化學返刻調控選擇性發射極摻雜濃度分布研究/55
2.4背面反射及疊層鈍化層研究/68
2.4.1背面反射結構研究/68
2.4.2背面疊層鈍化膜的研究/73
2.5背面局域接觸圖形研究/77
2.6背面局部硼激光摻雜研究/86
2.7p型多晶PERC太陽能電池技術/93
2.8p型PERC雙面太陽能電池技術/100
2.9p型PERC太陽能電池技術的發展展望/105
參考文獻/105
第3章n型鈍化發射極背面局部擴散（PERL）和鈍化發射極背面整面擴散（PERT）結構太陽能電池技術111
3.1n型PERL和PERT結構太陽能電池技術的發展歷程/112
3.2PERT結構n型太陽能電池器件模擬及結構設計/118
3.2.1前表面絨面形貌的影響和減反膜繫的設計/118
3.2.2太陽能電池復合模型研究/121
3.2.3n型太陽能電池電阻分析模型研究/123
3.3PERT結構n型太陽能電池工藝研究/129
3.3.1絨面制備技術研究/129
3.3.2關鍵金屬化工藝研究/138
3.3.3p型及n型摻雜研究/140
3.4太陽能電池制備及性能分析/143
3.4.1太陽能電池制備與性能/143
3.4.2太陽能電池復合損失分析/145
3.4.3太陽能電池串聯電阻損失分析/146
3.4.4太陽能電池光學損失分析/147
3.5n型PERL和PERT結構太陽能電池技術的發展展望/150
參考文獻/151
第4章硅基異質結（SHJ）太陽能電池技術154
4.1SHJ太陽能電池技術的發展歷程/155
4.2SHJ太陽能電池原理與結構/156
4.2.1太陽能電池結構基礎/156
4.2.2半導體異質結基礎/158
4.2.3SHJ太陽能電池結構與原理/161
4.2.4SHJ太陽能電池中載流子輸運機制/165
4.2.5SHJ太陽能電池特點/167
4.3SHJ太陽能電池制造工藝與關鍵技術/169
4.3.1濕化學處理/169
4.3.2非晶硅沉積/170
4.3.3透明導電薄膜沉積/171
4.3.4電極沉積/172
4.4SHJ太陽能電池性能分析/173
4.4.1載流子壽命/173
4.4.2短路電流/174
4.4.3開路電壓/175
4.4.4填充因子/175
4.5SHJ太陽能電池技術的發展展望/177
參考文獻/177
第5章n型隧穿氧化層鈍化接觸（TOPCon）太陽能電池技術181
5.1鈍化接觸太陽能電池技術的發展歷程/182
5.2隧穿氧化層的影響/185
5.2.1SiO2層對鈍化及磷擴散過程的影響/187
5.2.2SiO2層對接觸電阻率的影響/192
5.3多晶硅薄膜層的影響/193
5.3.1多晶硅薄膜的制備研究/193
5.3.2多晶硅薄膜層厚度對鈍化的影響/195
5.3.3多晶硅薄膜的摻雜對鈍化接觸結構的影響/197
5.4鈍化接觸結構光學特性/201
5.5n型鈍化接觸太陽能電池制備及性能研究/205
5.5.1太陽能電池的制備/205
5.5.2太陽能電池電性能分布與數據分析/214
5.5.3太陽能電池FCA分析/215
5.5.4太陽能電池復合電流分析/216
5.5.5太陽能電池的衰減測試/217
5.6n型鈍化接觸太陽能電池技術的發展展望/219
參考文獻/222
第6章背結背接觸（IBC）太陽能電池技術226
6.1IBC太陽能電池的發展歷程/228
6.2IBC太陽能電池的結構特征/233
6.3IBC太陽能電池制造的關鍵工藝技術/234
6.3.1前表面陷光和鈍化技術/235
6.3.2背表面摻雜技術/237
6.3.3金屬化接觸和柵線技術/239
6.4IBC太陽能電池技術的發展展望/240
參考文獻/240