內容簡介

本書繫統研究了直流熱陰極輝光等離子體輔助化學氣像沉積金剛石膜的過程中，溫度、壓強、甲烷氫氣流量比等實驗參數對金剛石膜形貌、晶體結構和質量的影響；以甲烷、氫氣為工作氣體，研究低溫低壓下納米金剛石膜的制備；探索向甲烷、氫氣氣氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮氣、氨氣對沉積金剛石膜的表面形貌、結構、晶面取向及導電性能的影響，並以三聚氰胺為氮摻雜源，通過改變氬氣氫氣流量比制備高導電的納米金剛石膜。本書可供從事金剛石膜制備的學者和其他從事材料研究的技術人員閱讀，也可作為相關專業的高等院校本科生、研究生使用和參考。