●1 真空材料的表面淨化處理
●1.1 材料表面的污染與淨化
●1.1.1 材料表面常見的污染形式
●1.1.2 材料表面淨化
●1.2 表面淨化處理的基本方法
●1.2.1 溶劑清洗
●1.2.2 電化學清洗處理
●1.2.3 加熱和輻照清洗
●1.2.4 氣體加熱還原分解淨化表面
●1.2.5 放電清洗
●1.2.6 剝去覆蓋塗層清洗
●1.2.7 氣體衝洗
●1.3 清洗的基本程序
●1.3.1 污染物的確定
●1.3.2 清洗方法的確定
●1.3.3 清洗溶劑的選擇
●1.3.4 清洗程序及注意事項
●1.4 非金屬材料的清洗
●1.4.1 玻璃陶瓷的清洗
●1.4.2 塑料與橡膠的清洗......
內容簡介
全書共分8章,主要內容有:真空材料的表面淨化處理、真空材料的除氣、真空繫統的檢測技術、真空繫統內殘餘氣體的分析與測量、真空繫統的操作與維護、真空工程用焊接技術、真空工程封接技術、真空器件的電擊穿及預防措施。
本書集基礎理論和實踐應用技術於一體,理論與工程實踐有機結合,適合於真空技術、薄膜與表面工程、材料工程、低溫工程、應用物理、機械設計等行業從事研究、設計、設備操作與維護的技術人員,也適用於進行與真空技術相關的科學研究及實驗的技術人員和學生,還可作為大專院校相關專業師生的教材及參考書。